Faculty Profiles - SHIRATANI MASAHARU (2024)

日本の大学から（招待講演）Invited

白谷正治

2024.1

Tuning Properties of Plasma Deposition Films in Unconventional Ways（Plenary）InvitedInternational conference

2023.11

Quantitative Analysis of Plasma Irradiation Dose to Seeds (Invited)InvitedInternational conference

M. Shiratani

AEPSE 2023 2023.11

An on-site plasma system for producing nitrogen fertilizers to increase crop yields in an environmentally friendly manner (Invited)InvitedInternational conference

M. Shiratani

The 65th KVS Summer Annual Conference & IFFM 2023 2023.8

Ion Trajectory Control in Processing Plasmas for Nano-Fabrication（keynote）InvitedInternational conference

2023.7

Analysis of the Correlation between Seeds Dormancy and Plasma Irradiation Effects on Seeds(Invited)InvitedInternational conference

M. Shiratani

IWOPA4 2023.6

Plasma Agriculture: An Emerging Field (Invited)InvitedInternational conference

M. Shiratani

IWOPA4 2023.6

Expanding plasma technologies for sustainable world（Plenary）InvitedInternational conference

2023.7

Tuning Mechanical Properties of Plasma CVD a-C:H films using Carbon Nanoparticles(Invited)InvitedInternational conference

M. Shiratani

ICDDPS-4 2023.4

プラズマ成膜の革新を目指して (招待講演)Invited

白谷正治

2023.3

機械学習・量子アニーリングを活用したプラズマプロセスの解析と制御 (招待講演)Invited

白谷正治, 鎌滝晋礼

第70回応用物理学会 春季学術講演会 2023.3

Tuning Deposition Profiles and Stress of Plasma CVD Carbon Films (Award Commemorative Speech)InvitedInternational conference

M. Shiratani

ISPlasma2023/IC-PLANTS2023 2023.3

Si系プラズマＣＶＤ研究の現状と展望 (招待講演)Invited

白谷正治

学振１５３プラズマ材料科学委員会 第161回研究会 2023.1

Plasma deposition of nanostructure tuning films (Invited)InvitedInternational conference

15th International Conference on Plasma Science and Applications 2022.12

Plasma Agriculture: An Emerging Field (Invited)InvitedInternational conference

M. Shiratani

ICPP 2022 2022.11

Electric Field Vector Deduced from Balance of Forces Exerted on a Fine Particle Immersed in Discharge Plasma(Invited)InvitedInternational conference

M. Shiratani, T. Sato, K. Kamataki

iPlasmaNano-XI 2022 2022.9

Identification of key plasma process parameters using support vector machine(Invited)InvitedInternational conference

M. shiratani

Second Meeting of the NTC Technical Committee on Emerging Plasma Nanotechnologies 2022.5

Dusty Plasma: Scientific and Technological Impacts(Invited)InvitedInternational conference

M. Shiratani

5th Asia-Pacific Conference on Plasma Physics 2021.9

プラズマ農業の現在と将来(招待講演)Invited

白谷正治

名古屋大学プラズマ研究会60周年記念シンポジウム 2021.9

Novel methods for tuning film properties using nanostructures(Invited)InvitedInternational conference

M. Shiratani

Plathinium 2021 2021.9

Ambient radiant energy source for powering IoT devices(Invited)InvitedInternational conference

M. Shiratani, F. L. Chawarambwa, T. E. Putri, K. Koga, K. Kamataki, M. Son, H. Seo

Thermec2021 2021.6

Sputtering Growth of Metal Oxynitride Semiconductors for Excitonic Devices(Invited)InvitedInternational conference

M. Shiratani

EDTM2021 2021.4

c-Si表面パッシベーションにおけるプラズマ誘起欠陥とバンド構造(招待講演)Invited

白谷 正治

第68回応用物理学会春季学術講演会 2021.3

プラズマナノテクノロジーの学術変革(招待講演)Invited

白谷正治

応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会３０周年記念シンポジウム 2021.3

Applications of Low Temperature Plasma to Agriculture in Preharvest Stage (Invited)InvitedInternational conference

M. Shiratani, P.Attri, T. Okumura, K. Koga

ICMAP 2020 & ISFM 2020 2021.1

低温低圧プラズマ触媒法による二酸化炭素の資源化(招待講演）Invited

第1回低温プラズマ科学研究センター（cLPS）公開シンポジウム 2020.12

Materials processing with low pressure plasma：present issues and possible solutions (Invited)InvitedInternational conference

白谷正治

2020.8

ESR Measurements of Plasma Irradiated Seed (Invited)InvitedInternational conference

the 1st international symposium on applied plasma science and engineering for agro and bio applications 2020.1

Methane production for energy storage using low temperature plasma (Invited)InvitedInternational conference

M. Shiratani, M. Ideguchi, A. Yamamoto, D. Yamashita, K. Kamataki, N. Itagaki, K. Koga

7th Korea-Japan Joint Symposium on Advanced Solar Cells 2020, 4th International Symposium on Energy Research and Application 2020.1

プラズマ照射した種籾の圃場栽培試験

古閑一憲, 佐藤僚哉, 吉田知晃, 有田涼, 田中颯, 廣松真弥, 鎌滝晋礼, 板垣奈穂, 白谷正治

第36回プラズマ・核融合学会年会 2019.12

Metabolomics Approach for Studying Effects of Atmospheric Air Plasma Irradiation to Seeds (Keynote)InvitedInternational conference

K. Koga, M. Shiratani, V. Mildaziene

29th Annual Meeting of MRS-J 2019.11

Impact of Atmospheric Pressure Plasma Irradiation to Seeds on Agricultural ProductivityInternational conference

K. Koga, M. Shiratani

3rd Asia-Pacific Conference on Plasma Physics (AAPPS-DPP2019) 2019.11

Rate Limiting Factors of Low Pressure Plasma-catalytic CO2 Methanation ProcessInternational conference

K. Koga, A. Yamamoto, K. Kamataki, N. Itagaki, M. Shiratani

AVS 66th International Symposium & Exhibition 2019.10

Non-equilibrium nanoparticle composite film process using reactive plasmas (Invited)InvitedInternational conference

K. Koga, M. Shiratani

Advanced Metallization Conference 2019: 29th Asian Session (ADMETA Plus 2019) 2019.10

Ar+CH4プラズマCVDを用いて堆積した水素化アモルファスカーボン薄膜の堆積特性に対する電極基板間距離依存性

古閑一憲, Sung Hwa Hwang, 鎌滝晋礼, 板垣奈穂, 白谷正治

2019年度（第72回）電気・情報関係学会九州支部連合大会 2019.9

Plasmas - from Laboratory to Table - (Invited)InvitedInternational conference

K. Koga, M. Shiratani

The 12th Asian-European International Conference on Plasma Surface Engineering (AEPSE2019) 2019.9

Synthesis and deposition of a-C:H nanoparticles using reactive plasmas with a fast gas flowInternational conference

K. Koga, S. H. Hwang, K. Kamataki, N. Itagaki, M. Shiratani

The Korea-Japan Workshop on Dust Particles in Plasmas 2019.8

Sputter deposition of wide bandgap (ZnO)x(AlN)1-x alloys: a new material system with tunable bandgapInternational conference

S. Urakawa, N. Miyahara, D. Yamashita, K. Kamataki, K. Koga, M. Shiratani, N. Itagaki

XXXIV International Conference on Phenomena in Ionized Gases (XXXIV ICPIG) & 10th International Conference on Reactive Plasmas (ICRP-10) 2019.7

Growth Mechanism of Carbon Nanoparticles In Multi-Hollow Discharge Plasma Chemical Vapor Deposition (Invited)InvitedInternational conference

K. Koga, S. H. Hwang, K. Kamataki, N. Itagaki M. Shiratani

XXXIV International Conference on Phenomena in Ionized Gases (XXXIV ICPIG) & 10th International Conference on Reactive Plasmas (ICRP-10) 2019.7

マルチホロー放電プラズマCVD法による高品質SiN膜の低温(100度)形成

永石翔大, 佐々木勇輔, 鎌滝晋礼, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治

令和元年度日本表面真空学会 九州支部学術講演会（九州表面・真空研究会2019） 2019.6

Deposition of Carbon Nanoparticles Using Multi-Hollow Discharge Plasma CVD for Synthesis of Carbon Nanoparticle Composite FilmsInternational conference

K. Koga, S. H. Hwang, T. Nakatani, J. S. Oh, K. Kamataki, N. Itagaki, M.Shiratani

46th International Conference on Metallurgical Coatings and Thin Films (ICMCTF 2019) 2019.5

微粒子プラズマにおける2体衝突運動の顕微高速観察

古閑一憲, 大友洋, 真銅雅子, 鎌滝晋礼, 板垣奈穂, 白谷正治

日本物理学会第74回年次大会（2019年） 2019.3

Spatial Profile of RONS Dose Supplied by a Scalable DBD DeviceInternational conference

K. Koga, Y. Wada, R. Sato, R. Shimada, D. Yamashita, K. Kamataki, N. Itagaki, M. Shiratani, T. Kawasaki

The 3rd Asian Applied Physics Conference 2018.12

カイワレ大根種皮の色素に対するプラズマ照射の効果

古閑一憲, 嶋田凌太郎, 和田陽介, 佐藤僚哉, 山下大輔, 鎌滝晋礼, 板垣奈穂, 白谷正治, Vida Mildaziene

第35回プラズマ・核融合学会年会 2018.12

Innovative Agricultural Productivity Improvement Using Atmospheric Pressure Plasmas (Invited)InvitedInternational conference

K. Koga, M. Shiratani

2018 MRS Fall Meeting & Exhibit 2018.11

Evaluation of Amount of RONS Transport and Absorption of SeedsInternational conference

K. Koga, Y. Wada, R. Sato, D. Yamashita, K. Kamataki, N. Itagaki, M. Shiratani

2018 MRS Fall Meeting & Exhibit 2018.11

反応性プラズマとナノ粒子相互作用ゆらぎネットワーク解析

古閑一憲

第34回九州･山口プラズマ研究会 2018.11

Synthesis of Hydrogenated Amorphous Carbon Nanoparticles using High-Pressure CH4+Ar Plasmas and Their DepositionInternational conference

K. Koga, S. H. Hwang, K. Kamataki, N. Itagaki, T. Nakatani, M. Shiratani

AVS 65th International Symposium & Exhibition 2018.10

プラズマ中二体微粒子の衝突解析による相互作用揺らぎの研究

古閑一憲, 大友洋, 周靭, 山下大輔, 鎌滝晋礼, 板垣奈穂, 白谷正治

2018年第79回応用物理学会秋季学術講演会 2018.9

Siネットワーク秩序性に対する製膜前駆体の効果

古閑一憲, 田中和真, 原尚志, 石榴, 中野慎也, 山下大輔, 鎌滝晋礼, 板垣奈穂, 白谷正治

2018年第79回応用物理学会秋季学術講演会 2018.9

Effects of cluster deposition on spatial profile of Si-Hx bond density in a-Si:H filmsInternational conference

K. Koga, K. Tanaka, H. Hara, S. Nagaishi, D. Yamashita, K. Kamataki, N. Itagaki, M. Shiratani

2018 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM2018) 2018.9

Challenge to precise control of chemical bond configuration in plasma CVD filmsInternational conference

K. Koga, M. Shiratani

RUB Japan Science Days 2018 2018.7

Control of synthesis and deposition of nanoparticles using a multi-hollow discharge plasma CVDInternational conference

K. Koga, M. Shiratani

Workshop "Plasma surface interaction for technological applications" 2018.6

High energy leverage method on growth enhancement of bio-mass plants using plasma seed treatmentInternational conference

K. Koga, Y. Wada, D. Yamashita, H. Seo, N. Itagaki, M. Shiratani

7th International Conference on Plasma Medicine (ICPM-7) 2018.6

A deep insight of plasma-nanoparticle interactionInvitedInternational conference

K. Koga, K. Kamataki, N. Itagaki, M. Shiratani

19th International Congress on Plasma Physics 2018.6

水素原子源付プラズマCVD法に任意電圧波形を併用したa-C:H薄膜の堆積

古閑一憲, 山木健司, 方トウジュン, 山下大輔, 徐鉉雄, 板垣奈穂, 白谷正治

第65回応用物理学会春季学術講演会 2018.3

大気圧空気誘電体バリア放電プラズマを照射したカイワレ種子の電子スピン共鳴分光

古閑一憲, 和田陽介, 佐藤僚哉, 山下大輔, 徐鉉雄, 板垣奈穂, 白谷正治

第65回応用物理学会春季学術講演会 2018.3

任意電圧波形を用いたC7H8+Ar+H2プラズマ生成

古閑一憲, 山木健司, 方トウジュン, 山下大輔, 徐鉉雄, 板垣奈穂, 白谷正治

平成30年電気学会全国大会 2018.3

Effects of RONS Dose on Plasma Induced Growth Enhancement of Radish SproutInternational conference

K. Koga, Y. Wada, R. Sato, D. Yamashita, H. Seo, N. Itagaki, M. Shiratani

2nd International Workshop On Plasma Agriculture (IWOPA2) 2018.3

Plasma Enhanced Carbon Recycling for Large-Scale Introduction of Solar Cells to Energy Supply ChainInvitedInternational conference

K. Koga, Y. Wada, R. Sato, D. Yamashita, H. Seo, N. Itagaki, M. Shiratani

5th Korea-Japan Joint Symposium on Advanced Solar Cells 2018, 2nd International Symposium on Energy Research and Application 2018.2

Towards ultra-high capacity batteriesInternational conference

K. Koga, G. Uchida, M. Shiratani

Joint workshop btw SKKU and Kyushu University Emerging materials and devices 2018.1

A new insight into nanoparticle-plasma interactions (Invited)InvitedInternational conference

K. Koga, K. Mori, R. Zhou, H. Seo, N. Itagaki, M. Shiratani

JP-KO dust workshop 2017.12

Evaluation of coupling among interaction fluctuations in nanoparticle growth in reactive plasmasInternational conference

K. Koga, K. Mori, R. Zhou, H. Seo, N. Itagaki, M. Shiratani

18th Workshop on Fine Particle Plasmas 2017.12

Deposition of High Quality Silicon Thin Films Utilizing Nanoparticles Trapped in PlasmasInternational conference

K. Koga, T. Kojima, S. Toko, D. Yamashita, H. Seo, N. Itagaki, M. Shiratani

27th annual meeting of MRS-J 2017.12

Effects of Number Density of Seeds on Plasma Induced Plant Growth EnhancementInternational conference

K. Koga, Y. Wada, D. Yamashita, H. Seo, N. Itagaki, M. Shiratani

27th annual meeting of MRS-J 2017.12

Effects of Gas Flow Velocity on Plant Growth of Radish SproutInternational conference

K. Koga, Y. Wada, R. Sato, D. Yamashita, H. Seo, N. Itagaki, M. Shiratani

The 2nd Asian Applied Physics Conference (Asian-APC) 2017.12

植物種子へのプラズマ照射効果による成長促進とその機序（シンポジウム講演）Invited

古閑一憲, 白谷正治

2017.11

Development of a fine particle transport analyzer for processing plasmasInternational conference

K. Koga, D. Yamashita, H. Seo, N. Itagaki, M. Shiratani

The 39th International Symposium on Dry Process (DPS 2017) 2017.11

反応性プラズマを用いた物質機能の初期階層形成

古閑一憲

第33回九州･山口プラズマ研究会 2017.11

Surface-driven CH4 generation from CO2 in Low-pressure Non-thermal PlasmaInternational conference

K. Koga, S. Toko, S. Tanida, M. Shiratani

American Vacuum Society 64th International Symposium and Exhibition (AVS64) 2017.10

火星上CO2のCH4資源化のための低温低圧プラズマ触媒プロセス

古閑一憲, 都甲将, 谷田知史, 白谷正治, 細田聡史, 星野健

第61回宇宙科学技術連合講演会 2017.10

スケーラブルDBDプラズマのRONS照射量に対する空気流れの効果

古閑一憲, 和田陽介, 山下大輔, 徐鉉雄, 板垣奈穂, 白谷正治

平成29年度（第70回）電気・情報関係学会九州支部連合大会 2017.9

Hysteresis in Plasma CVD: a new path for high quality film depositionInvitedInternational conference

K. Koga, S. Toko, M. Shiratani

11th Asian-European International Conference on Plasma Surface Engineering (AEPSE2017) 2017.9

プラズマ照射した種籾への催芽処理の効果

古閑一憲, 和田陽介, 徐鉉雄, 板垣奈穂, 白谷正治, 橋本昌隆, 小島昌治

第78回応用物理学会秋季学術講演会 2017.9

Synthesis of Nanoparticles Using Low Temperature Plasmas and Its Application to Solar Cells and Tracers in Living Body (Invited)InvitedInternational conference

K. Koga, H. Seo, A. Tanaka, N. Itagaki, M. Shiratani

231st Meeting of Electrochemical Society (ECS) 2017.5

低温プラズマによるナノ粒子の合成と太陽電池への応用

古閑一憲, 徐鉉雄, 板垣奈穂, 白谷正治

電子情報通信学会有機エレクトロニクス研究会 2017.4

Corrational study of fluctuation of coupling between plasmas and nanoparticlesInternational conference

K. Koga, K. Mori, H. Seo, N. Itagaki, M. Shiratani

9th International Symposium on Advanced Plasma Science and Its Applications for Nitrides and Nanomaterials / 10th International Conference on Plasma Nanotechnology and Science (ISPlasma2017/IC-PLANTS2017) 2017.3

Long-term evaluation of In nanoparticle transport in living bodyInternational conference

K. Koga, A. Tanaka, M. Hirata, T. Amano, T. Sarinont, H. Seo, N. Itagaki, M. Shiratani

9th International Symposium on Advanced Plasma Science and Its Applications for Nitrides and Nanomaterials / 10th International Conference on Plasma Nanotechnology and Science (ISPlasma2017/IC-PLANTS2017) 2017.3

Comparision of Gamma irradation and scalable DBD on the declorization of DyesInternational conference

K. Koga, P. Attri, T. Sarinont, H. Seo, N. Itagaki, M. Shiratani

9th International Symposium on Advanced Plasma Science and Its Applications for Nitrides and Nanomaterials / 10th International Conference on Plasma Nanotechnology and Science (ISPlasma2017/IC-PLANTS2017) 2017.3

九州大学における反応性プラズマ精密制御CVD法の紹介（招待講演）Invited

古閑一憲

第1回産学共同研究検討会 2017.1

Time evolution of cross-correlation between two fluctuations of couplings between plasmas and nanoparticles in amplitude modulated dischargesInternational conference

K. Koga, K. Mori, D. Yamashita, H. Seo, N. Itagaki, M. Shiratani

17th Workshop on Fine Particle Plasmas and JAPAN-KOREA Workshop on Dust Particles 2016 2016.12

Dependence of amount of plasma activated water on growth enhancement of radish sproutInternational conference

K. Koga, T. Sarinont, R. Katayama, Y. Wada, H. Seo, N. Itagaki, M. Shiratani

26th annual meeting of MRS-J 2016.12

Comparative study on death of cells irradiated by non-thermal plasma, X-ray, and UVInternational conference

K. Koga, T. Amano, T. Sarinont, R. Katayama, Y. Wada, H. Seo, N. Itagaki, M. Shiratani, A. Tanaka, Y. Nakatsu, T. Kondo

The 1st Asian Applied Physics Conference (Asian-APC) 2016.12

小型ダスト飛跡分析装置を用いたミラー上ダスト堆積抑制の検討

古閑一憲, 片山龍, 方韜鈞, 山下大輔, 徐鉉雄, 板垣奈穂, 白谷正治, 増崎貴, 芦川直子, 時谷政行, 西村清彦, 相良明男

第33回プラズマ・核融合学会年会 2016.12

プラズマCVDを用いた高効率低劣化Si薄膜太陽電池の作製（招待講演）Invited

古閑一憲

第33回プラズマ・核融合学会年会 2016.11

プラズマとナノ粒子の相互作用ゆらぎの２次元空間構造の時間発展

古閑一憲, 森研人, 徐鉉雄, 板垣奈穂, 白谷正治

第33回プラズマ・核融合学会年会 2016.11

プラズマ計測・診断 －反応性プラズマ中微粒子を中心として－ （招待講演）Invited

古閑一憲

第2７回プラズマエレクトロニクス講習会 2016.11

Control of Plant Growth by RONS Produced Using Nonthermal Atmospheric Air PlasmaInternational conference

K. Koga, T. Sarinont, M. Shiratani

American Vacuum Society 63rd International Symposium and Exhibition (AVS63) 2016.11

Comparative study of non-thermal atmospheric pressure discharge plasmas for life science applicationsInternational conference

K. Koga, R. Katayama, T. Sarinont, H. Seo, N. Itagaki, P. Attri, E. L. Quiros, .A. Tanaka, M. Shiratani

69th Annual Gaseous Electronics Conference (GEC2016) 2016.10

火星上でのロケット燃料生成を目的とした低温低圧放電プラズマによるサバティエ反応

古閑一憲, 都甲将, 白谷正治

第60回宇宙科学技術連合講演会 2016.9

Time development of response of cells irradiated by non-thermal atmospheric air plasmaInternational conference

K. Koga, T. Amano, Y. Nakatsu, H. Seo, N. Itagaki, A. Tanaka, T. Kondo, M. Shiratani

6th International Conference on Plasma Medicine (ICPM6) 2016.9

Nitrite concentration of plants grown from seeds irradiated by air dielectric barrier discharge plasmasInternational conference

K. Koga, T. Sarinont, P. Attri, M. Shiratani

20th International Vacuum Congress (IVC-20) 2016.8

QCMを用いたLHD内ダスト堆積量のその場測定

古閑一憲, 片山龍, 方韜鈞, 山下大輔, 徐鉉雄, 板垣奈穂, 白谷正治, 増崎貴, 芦川直子, 時谷政行, 西村清彦, 相良明男, LHD実験グループ

第11回核融合エネルギー連合講演会 2016.7

プラズマ中微粒子を用いたプラズマポテンシャルゆらぎの評価

古閑一憲, 添島雅大, 伊藤鉄平, 徐鉉雄, 板垣奈穂, 白谷正治

日本物理学会第71回年次大会 2016.3

「プラズマ材料科学の未来を語る」（低圧非平衡プラズマプロセス） (招待講演)Invited

古閑一憲

第125回研究会　APSPT9-SPSM28サテライトミーティング『プラズマ材料科学の未来を語る』 2016.2

振幅変調反応性高周波放電中のナノ粒子量のバイスペクトル解析

古閑一憲

応用力学研究所共同研究報告会 2016.2

大気圧非平衡プラズマの基礎 (招待講演)Invited

古閑一憲

プラズマ・核融合学会第28回専門講習会「プラズマ医療の現状と展望」 2016.1

Potential fluctuation evaluation using binary collision of fine particles suspended in plasmas (Invited)Invited

K. Koga and M. Shiratani

2015.12

液中プラズマを用いたAuとPtナノ粒子の簡易作製法

古閑一憲, 天野孝昭, Thapanut Sarinont, 徐鉉雄, 板垣奈穂, 白谷正治, 中津可道, 平田美由紀, 田中昭代

平成27年度応用物理学会九州支部学術講演会 2015.12

プラズマ中のクーロン衝突微粒子間引力

古閑一憲,添島雅大,伊東鉄平,山下大輔,徐鉉雄,板垣奈穂,白谷正治,野口将之,内田誠一

第32回プラズマ・核融合学会 年会 2015.11

新しいプラズマプロセス技術を用いた薄膜堆積

古閑一憲, 田浪荘汰, 山下大輔, 徐鉉雄, 板垣奈穂, 白谷正治

接合科学共同利用・共同研究拠点 大阪大学接合科学研究所 平成２７年度 共同研究成果発表会 2015.11

Effects of Ion Energy on Chemical Bond Configuration in a-C:H Deposited using Ar + H2+ C7H8 Plasma CVDInternational conference

K. Koga, X. Dong, K. Yamaki, D. Yamashita, H. Seo, N. Itagaki, M. Shiratani, K. Takenaka ,Y. Setsuhara

37th International Symposium on Dry Process (DPS2015) 2015.11

Interactions between spin trapping reagents and non-thermal air DBD plasmasInternational conference

K. Koga, T. Amano, T. Sarinont, T. Kondo, S. Kitazaki, Y. Nakatsu, A. Tanaka, M. Shiratani

37th International Symposium on Dry Process (DPS2015) 2015.11

プラズマ照射に対する生体応答の研究

古閑一憲

第31回 九州･山口プラズマ研究会 2015.11

Improving of Harvest Period and Crop Yield of Arabidopsis Thaliana L. using Nonthermal Atmospheric Air PlasmaInternational conference

K. Koga, T. Sarinont, T. Amano, H. Seo, N. Itagaki, M. Shiratani

American Vacuum Society 62nd International Symposium and Exhibition (AVS) 2015.10

Two Dimentional Visualization of Oxidation Effect of Scalable DBD Plasma Irradiation using KI-starch SolutionInternational conference

K. Koga, T. Amano, T. Sarinont, T. Kawasaki, G. Uchida, H. Seo, N. Itagaki, M. Shiratani, Y. Nakatsu, A. Tanaka

American Vacuum Society 62nd International Symposium and Exhibition (AVS) 2015.10

Simple Evaluation Method of Atmospheric Plasma Irradiation Dose using pH of WaterInternational conference

K. Koga, T. Sarinont, T. Amano, H. Seo, N. Itagaki, Y. Nakatsu, A. Tanaka, M. Shiratani

ICRP9/GEC68/SPP33 2015.10

In vivo kinetics of nanoparticles synthesized by plasma in water (Invited)InvitedInternational conference

K. Koga, T. Amano, M. Hirata, A. Tanaka, M. Shiratani

The 21st Korea-Japan Workshop on Advanced Plasma Processes and Diagnostics & The Workshop for NU-SKKU Joint Institute for Plasma-Nano Materials 2015.10

In-situ laser Raman spectroscopy of an optically trapped fine particleInternational conference

K. Koga, M. Soejima, K. Tomita, T. Ito, H. Seo, N. Itagaki, M. Shiratani

17th International Symposium on Laser-Aided Plasma Diagnostics (LAPD17) 2015.9

Control Of Nanoprticle Transport And Their Deposition For Porous Low-k Films By Using Plasma Pertubation (Invited)InvitedInternational conference

K. Koga and M. Shiratani

The 10th Asian-European International Conference on Plasma Surface Engineering (AEPSE2015) 2015.9

アルゴンプラズマ中微粒子運動の画像解析によるプラズマパラメータ評価

古閑一憲, 添島雅大, 徐鉉雄, 板垣奈穂, 白谷正治, 内田誠一

日本物理学会　2015年秋季大会 2015.9

反応性プラズマ中ナノ粒子とラジカルの非線形結合成分の時空間解析

古閑一憲, 伊東鉄平, 徐鉉雄, 板垣奈穂, 白谷正治

日本物理学会　2015年秋季大会 2015.9

大気圧非平衡プラズマ照射による液中ラジカル生成の相関解析（招待講演）Invited

古閑一憲

新学術領域研究 プラズマ・ナノマテリアル動態学の創成と安全安心医療科学の構築 第21回医工連携ゼミ 2015.4

非平衡プラズマスパッタリングによる高速低温層交換結晶成長

古閑一憲, 市田大樹, 山下大輔, 徐鉉雄, 板垣奈穂, 白谷正治

日本物理学会第70回年次大会 2015.3

スパッタを用いた低温高速層交換Ge結晶成長に対する基板温度の効果

古閑一憲, 市田大樹, 橋本慎史, 徐鉉雄, 山下大輔, 板垣奈穂, 白谷正治

第62回応用物理学会春季学術講演会 2015.3

ラットに皮下投与したInナノ粒子の体内輸送

古閑一憲, 天野孝昭, 平田美由紀, 田中昭代, 白谷正治

第62回応用物理学会春季学術講演会 2015.3

水素化アモルファスシリコン薄膜中Si-H2結合生成に対するクラスタ混入とラジカル表面反応の寄与

古閑一憲, 都甲将, 鳥越祥宏, 毛屋公孝, 徐鉉雄, 板垣奈穂, 白谷 正治

第62回応用物理学会春季学術講演会 2015.3

プロセシングプラズマを用いたIV族半導体ナノ粒子の作製と太陽電池への応用（招待講演）Invited

古閑一憲, 内田儀一郎, 徐鉉雄, 白谷正治

平成26年度　東北大学電気通信研究所共同プロジェクト研究会「プラズマナノバイオ・医療の基礎研究」 2015.2

Temporal development of nonlinear coupling between radicals and nanoparticles in reactive plasmas (Invited)InvitedInternational conference

K. Koga, T. Ito, H. Seo, N. Itagaki, and M. Shiratani

The 75th IUVSTA Workshop on Sheath Phenomena in Plasma Processing of Advanced Materials 2015.1

Cluster suppressed deposition of a-Si:H films by employing non-linear phenomena in reactive plasmas (Invited)InvitedInternational conference

K. Koga, S. Toko, Y. Torigoe, K. Keya, H. Seo, N. Itagaki, M. Shiratani

2015 Japan-Korea Joint Symposium on Advanced Solar Cells 2015.1

大気圧空気プラズマを照射したカイコの成長

古閑一憲, サリノントタパナット, 天野孝昭, 白谷正治

第24回日本MRS年次大会 2014.12

プラズマ技術の生体・環境分野への応用研究

古閑一憲

九州大学テクノロジーフォーラム2014 2014.12

プラズマ照射によるシロイヌナズナの植物成長促進の世代間伝搬

古閑一憲, サリノントタパナット, 北﨑訓, 林信哉, 白谷正治

第30回　九州・山口プラズマ研究会 2014.11

Analysis of coupling between nanoparticles and radicals using perturbation of radical density in reactive plasmasInternational conference

K. Koga, T. Ito, H. Seo, N. Itagaki, M. Shiratani

Plasma Conference 2014 2014.11

Effects of amplitude modulated VHF discharge on coupling between plasmas and nanoparticlesInternational conference

K. Koga, T. Ito, K. Kamataki, H. Seo, N. Itagaki, and M. Shiratani

24th International Toki Conference 2014.11

Spatiotemporal Analysis of Nanoparticle Growth in Amplitude Modulated Reactive Plasmas for Understanding Interactions between Plasmas and Nanomaterials (Invited)InvitedInternational conference

K. Koga, Y. Morita, T. Ito, K. Kamataki, H. Seo, N. Itagaki, M. Shiratani

15th IUMRS-International Conference in Asia 2014.8

太陽電池開発の最前線

古閑一憲

2014年度先端サマーセミナー（第6回研究活動交流会） 2014.8

Quartz crystal microbalance measurements for in-situ evaluation of dust inventory in fusion devicesInternational conference

K. Koga, M. Tateishi, D. Yamashita, K. Kamataki, H. Seo, N. Itagaki, M. Shiratani, N. Ashikawa, S. Masuzaki, K. Nishimura, A. Sagara, and the LHD Experimental Group

26th Symposium on Plasma Physics and Technology 2014.6

Real time mass measurement of dust particles deposited on vessel wall using quartz crystal microbalances in a divertor simulatorInternational conference

K. Koga, M. Tateishi, D. Yamashita, K. Kamataki, H. Seo, N. Itagaki, M. Shiratani, N. Ashikawa, S. Masuzaki, K. Nishimura, A. Sagara, and the LHD Experimental Group

21th International Conference on Plasma Surface Interactions (PSI2014) 2014.5

Effects of non-thermal air plasma irradiation to plant seeds on glucose concentration of plantsInternational conference

K. Koga, T. Sarinont, T. Amano, and M. Shiratani

International Workshop on Diagnostics and Modelling for Plasma Medicine (DMPM2014) 2014.5

コンビナトリアル細胞活性解析を用いた細胞超活性プラズマの創成 (招待講演)Invited

古閑一憲

第8回レーザー学会「レーザーバイオ医療」技術専門委員会 2014.3

プラズマプロセス技術の最近の応用展開 (招待講演)Invited

古閑一憲

プラズマ・核融合学会九州・沖縄・山口支部　平成25年度第3回特別講演会 2014.2

Coupling between radicals in plasmas and nanoparticle growth in initial growth phase in reactive plasmas with amplitude modulationInternational conference

K. Koga, Y. Morita, K. Kamataki, D. Yamashita, N. Itagaki, G. Uchida and M. Shiratani

18th Korea - Japan Workshop on Advanced Plasma Processes and Diagnostics 2014.2

Fabrication of highly stable a-Si:H solar cells by suppressing cluster incorporation (Invited)InvitedInternational conference

K. Koga, Y. Hashimoto, S. Toko, D. Yamashita, Y. Torigoe, G. Uchida, H. Seo, K. Kamataki, N. Itagaki, and M. Shiratani

2014 Japan-Korea Joint Symposium on Advanced Solar Cells 2014.2

Multi-generation evaluation of plasma growth enhancement to arabidopsis thaliana (Invited)InvitedInternational conference

K. Koga, T. Sarinont, S. Kitazaki, N. Hayashi, M. Shiratani

8th International Conference on Reactive Plasmas and 31st Symposium on Plasma Processing (ICRP-8/SPP-31) 2014.2

Coupling between radicals and nanoparticles in initial growth phase in reactive plasmas with amplitude modulation (Invited)InvitedInternational conference

K. Koga, Y. Morita, K. Kamataki, D. Yamashita, N. Itagaki, G. Uchida, M. Shiratani

8th International Conference on Reactive Plasmas and 31st Symposium on Plasma Processing (ICRP-8/SPP-31) 2014.2

プラズマ技術およびその応用可能性について (招待講演)Invited

古閑一憲

平成25年度次世代テクノロジーセミナー 2014.1

Correlation between Plasma Fluctuation and Nanoparticle Amount in Initial Growth Phase in Reactive Plasmas with Amplitude Modulation

K. Koga, Y. Morita, K. Kamataki, D. Yamashita, N. Itagaki, G. Uchida, M. Shiratani

14th Workshop on Fine Particle Plasmas 2013.12

Quantum dot sensitized solar cells using group IV semiconductor nanoparticles (Invited)InvitedInternational conference

K. Koga, G. Uchida, D. Ichida, S. Hashimoto, H. Seo, K. Kamataki, N. Itagaki, and M. Shiratani

2013 EMN Fall Meeting 2013.12

ナノ粒子成長に対するプラズマ摂動周波数の効果

古閑一憲, 森田康彦, 岩下伸也, 内田儀一郎, 鎌滝晋礼, 板垣奈穂, 白谷正治

プラズマ・核融合学会　第30回年会 2013.12

Deposition of Ge Nanoparticle Films and Their Application to Ge Quantum-dot Sensitized Solar CellsInternational conference

K. Koga, G. Uchida, D. Ichida, H. Seo, K. Kamataki, N. Itagaki, M. Shiratani

The 23rd International Photovoltaic Science and Engineering Conference 2013.11

Carbon Nanostructure formed by high pressure methane plasmas

K. Koga, S. Iwashita, G. Uchida, D. Yamashita, H. Seo, K. Kamataki, N. Itagaki, M. Shiratani, U. Czarnetzki

The 26th Symposium on Plasma Science for Materials (SPSM-26) 2013.9

Comparative Acute Pulmonary Toxicity of Different Types of Indium-Tin Oxide Following Intermittent Intratracheal Instillation to the Lung of RatsInternational conference

K. Koga, A. Tanaka, M. Hirata, N. Hayashi, N. Itagaki and G. Uchida

2013 JSAP-MRS Joint Symposia 2013.9

クラスタ抑制法を用いた高光安定アモルファスシリコンPIN太陽電池の作製

古閑一憲, 橋本優史, 金淵元, 都甲将, 内田儀一郎, 徐鉉雄, 板垣奈穂, 白谷正治

プラズマ研究会 2013.9

Formation of self-organized nanostructures using high pressure CH4+Ar plasmasInternational conference

K. Koga, S. Iwashita, G. Uchida, D. Yamashita, N. Itagaki, H. Seo, M. Shiratani and U. Czarnetzki

2013.8

High Pressure Nonthermal Methane Plasmas for Nanoparticle ProductionInternational conference

K. Koga, S. Iwashita, G. Uchida, D. Yamashita, N. Itagaki, K. Kamataki, M. Shiratani, U. Czarnetzki

The 12th Asia Pacific Physics Conference (APPC12) 2013.7

振幅変調放電プラズマ中のナノ粒子成長初期におけるナノ粒子量の時空間分布

古閑一憲, 森田康彦, 内田儀一郎, 鎌滝晋礼, 徐鉉雄, 板垣奈穂, 白谷正治

2013年第60回応用物理学会春季学術講演会 2013.3

Characteristics of high pressure Ar+CH4 nanosecond discharge plasmas for producing nanoparticlesInternational conference

K. Koga, D. Yamashita, G. Uchida, M. Shiratani, U. Czarnetzki

5th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials (ISPlasma2013) 2013.2

Single particle trapping in plasmas using laser for studying interaction between a fine particle and palsamsInternational conference

K. Koga, D. Yamashita, G. Uchida, M. Shiratani

5th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials (ISPlasma2013) 2013.1

Time and space profiles of laser-light scattering intensity from nano-particles and optical emission intensity in amplitude modurated high frequency discharge plasmasInternational conference

K. Koga

The International LIGLR Workshop on Plasma Science & Technology 2013.1

プラズマ-壁相互作用によるナノ粒子生成に対する壁へのプラズマ流入角度の効果

古閑一憲, 西山雄士, 立石瑞樹, 白谷正治, H. Wulff, S. Bornholdt, H. Kersten

第30回プラズマプロセシング研究会(SPP-30) 2013.1

重水素ヘリコンプラズマとグラファイト壁の相互作用により発生したダストの捕集

古閑一憲, 岩下伸也, 西山雄士, 立石瑞樹, 森田康彦, 山下大輔, 鎌滝晋礼, 内田儀一郎, 徐鉉雄, 板垣奈穂, 白谷正治, 芦川直子, 増崎貴, 西村清彦, 相良明男, LHD実験グループ

プラズマ・核融合学会　九州・沖縄・山口支部第16回支部大会 2012.12

Deposition of Si nanoparticle composite films for C-Si/Si QDs/organic Solar Cells

K. Koga, Y. Wang, D. Ichida, H. Seo, G. Uchida, N. Itagaki, M. Shiratani

2012.12

グラファイトと重水素プラズマの相互作用で発生したダスト捕集

古閑一憲, 岩下伸也, 西山雄士, 山下大輔, 鎌滝晋礼, 内田儀一郎, 徐鉉雄, 板垣奈穂, 白谷正治, 芦川直子, 増崎貴, 西村清彦, 相良明男, LHD実験グループ

プラズマ・核融合学会　第29回年会 2012.11

高気圧Ar+CH4ナノ秒放電を用いた薄膜堆積とナノ粒子生成

古閑一憲, 岩下伸也, 山下大輔, 内田儀一郎, 白谷正治, Czarnetzki U.

プラズマ・核融合学会　第29回年会 2012.11

Plasma Chemical Vapor Deposition for Solar Cells (Invited)InvitedInternational conference

K. Koga

2012 Workshop on Advanced Surface and Material Technologies 2012.11

Electrical Asymmetry Effectを用いた微粒子のシース間輸送

古閑一憲, 岩下伸也, 内田儀一郎, J. Schulze, E. Schungel, P. Hartmann, 白谷正治, Z. Donko, U. Czarnetzki

九州山口プラズマ研究会、応物新領域研究会 2012.11

Control of Dust Flux in LHD and in a Divertor SimulatorInternational conference

K. Koga, K. Nishiyama, Y. Morita, D. Yamashita, K. Kamataki, G. Uchida, H. Seo, N. Itagaki, M. Shiratani, N. Ashikawa, S. Masuzaki, K. Nishimura, A. Sagara, the LHD Experimental Group

24th Fusion Energy Conference (IAEA) 2012.10

Formation of Nanoparticles in High Pressure Reactive Nanosecond DischargesInternational conference

K. Koga, S. Iwashita, M. Shiratani, U. Czarnetzki

2012.10

Optical Trapping of Single Fine Particle in Plasmas for study of interactions between a fine particle and plasmasInternational conference

K. Koga, D. Yamashita, S. Kitazaki, G. Uchida, K. Kamataki, N. Itagaki, M. Shiratani

NANOSMAT 2012 2012.9

Control of deposition profile and properties of plasma CVD carbon filmsInternational conference

K. Koga, T. Urakawa, G. Uchida, K. Kamataki, N. Itagaki, M. Shiratani, Y. Setsuhara, M. Sekine, M. Hori

13th International Conference on Plasma Surface Engineering (PSE2012) 2012.9

Effects of Substrate DC Bias Voltage on Dust Collection Efficiency in Large Helical DeviceInternational conference

K. Koga, K. Nishiyama, Y. Morita, D. Yamashita, K. Kamataki, G. Uchida, H. Seo, N. Itagaki, M. Shiratani, N. Ashikawa, S. Masuzaki, K. Nishimura, A. Sagara, the LHD Experimental Group

20th International Conference on Plasma Surface Interactions 2012 (PSI2012) 2012.5

Effects of incorporation of clusters generated in the plasma ignition phase on Schottky cell performance of amorphous silicon filmsInternational conference

K. Koga, K. Nakahara, K. Hatozaki, Y. Hashimoto, T. Matsunaga, H. Seo, G. Uchida, N. Itagaki, M. Shiratani

The Fourth International Workshop on Thin-Film Silicon Solar Cells (IWTFSSC-4) 2012.3

Three growth modes of nanoparticles generated in reactive plasmasInternational conference

K. Koga, K. Kamataki, S. Nunomura, S. Iwashita, G. Uchida, H. Seo, N. Itagaki, M. Shiratani, U. Czarnetzki

DPG Spring Meeting of the Section AMOP (SAMOP) 2012.3

低温プラズマ異方性CVDを用いた微細トレンチ上面への自己組織カーボンマスク形成International conference

古閑一憲, 浦川達也, 内田儀一郎, 徐鉉雄, 鎌滝晋礼, 板垣奈穂, 白谷正治, 節原裕一, 関根誠, 堀勝

2011.11

プロセスプラズマ中の微粒子挙動研究とその応用（特別講演）Invited

古閑一憲

プラズマ科学のフロンティア2011研究会 2011.9

CVDプラズマ中ナノ粒子の制御とその応用 (招待講演)Invited

古閑一憲

AIST計測・診断システム研究協議会　第８回プラズマ技術研究会 2011.8

基板バイアスによるダスト捕集の検討

古閑一憲

第9回ＬＨＤにおけるPWI共同研究・検討会 2011.7

Effects of surface treatment on performance of Si nano-particle quantum dot solar cellsInternational conference

K. Koga, G. Uchida, M. Sato, Y. Wang, K. Nakahara, K. Kamataki, N. Itagaki, M. Shiratani

The 3rd International Conference on Microelectronics and Plasma Technology (ICMAP-2011) 2011.7

Deposition of carbon films on top surface of fine trenches at 100℃ using a plasma anisotropic CVD method

古閑一憲, 野村卓也, 浦川達也, 内田儀一郎, 鎌滝晋礼, 板垣奈穂, 白谷正治, 節原裕一, 関根誠, 堀勝

第58回応用物理学関係連合講演会 2011.3

Transport Control of Carbon Nanoparticles in H2 Helicon Discharges by Biasing Wall

2011.3

Generation and Surface Modification of Si nano-particles using SiH4/H2 and N2 multi-hollow discharges and their application to the third generation photovoltaics (Invited)InvitedInternational conference

K. Koga, G. Uchida, K. Yamamoto, Y. Kawashima, M. Sato, K. Kamataki, N. Itagaki, M. Shiratani

2011.2

Radical flux evaluation of high pressure silane plasma CVD using multi-hollow discharges (Invited)InvitedInternational conference

K. Koga, T. Matsunaga, Y. Kawashima, Y. Kim, K. Nakahara, G. Uchida, K. Kamataki, N. Itagaki, M. Shiratani

The 12th International Workshop on Advanced Plasma Processing and Diagnostics 2011.1

微細パターン基板へのSiOx-CH3ナノ粒子堆積

古閑一憲, 宮田大嗣, 西山雄士, 岩下伸也, 山下大輔, 松崎秀文, 内田儀一郎, 板垣奈穂, 鎌滝晋礼, 白谷正治

第27回プラズマ・核融合学会年会 2010.12

プラズマ－カーボン壁相互作用で発生したカーボン微粒子の基板へのフラックス評価

古閑一憲, 宮田大嗣, 西山雄士, 岩下伸也, 山下大輔, 松崎秀文, 内田儀一郎, 板垣奈穂, 鎌滝晋礼, 白谷正治, 芦川直子, 増﨑貴, 西村清彦, 相良明男, LHD実験グループ

第27回プラズマ・核融合学会年会 2010.11

Deposition profile control of carbon films on the surface of fine structures using plasma CVD (Invited)InvitedInternational conference

K. Koga, T. Nomura, G. Uchida, M. Shiratani, Y. Setsuhara, M. Sekine, M. Hori

The 1st Korean-Japan Symposium on Surface Technology 2010.11

Deposition of Nanoparticles using Substrate Bias VoltageInternational conference

K. Koga, H. Miyata, G. Uchida, K. Kamataki, N. Itagaki, M. Shiratani, N. Ashikawa, K. Nishimura, A. Sagara, the LHD Experimental Group

2010.11

プラズマ-細胞相互作用による細胞活性制御

古閑一憲, 北﨑訓, 内田儀一郎, 鎌滝晋礼, 板垣奈穂, 白谷正治

第26回九州・山口プラズマ研究会 2010.11

High speed deposition of highly stable a-Si:H films using pure silane multi-hollow dischargesInternational conference

K. Koga, K. Nakahara, T. Matsunaga, G. Uchida, K. Kamataki, N. Itagaki, M. Shiratani

Third International Workshop on Thin Film Silicon Solar Cells (IWTFSSC3) 2010.10

Si quantum dot-sensitized solar cells using Si nanoparticles produced by multi-hollow dischargeInternational conference

K. Koga, G. Uchida, Y. Kawashima, M. Sato, K. Yamamoto, K. Nakahara, T. Matsunaga, K. Kamataki, N. Itagaki, M. Shiratani

3rd International Symposium on Innovative Solar Cells 2010.10

Comparison between Si thin films with and without incorporating nanoparticles into the filmInternational conference

K. Koga, Y. Kawashima, T. Matsunaga, M. Sato, K. Nakahara, W. M. Nakamura, G. Uchida, K. Kamataki, N. Itagaki, M. Shiratani

10th Asia Pacific Conference on Plasma Science and Technology (APCPST) 2010.7

Effects of hydrogen dilution on electron density in multi-hollow discharges with magnetic field for a-Si:H film depositionInternational conference

K. Koga, Y. Kawashima, K. Nakahara, T. Matsunaga, W. M. Nakamura, M. Shiratani

35th IEEE Photovoltaic Specialists Conference (PVSC) 2010.6

へリコンプラズマーカーボン壁相互作用で発生したカーボンダストの電場による収集

古閑一憲, 宮田大嗣, 白谷正治

第8回ＬＨＤにおけるＰＷＩ共同研究・検討会 2010.6

Plasma CVD for Si thin film solar cellsInternational conference

K. Koga

2010 International Workshop on Plasma Applications 2010.6

振幅変調パルス放電による部分帯電ナノ粒子雲の輸送

日本地球惑星科学連合年会 2010.5

Effects of gas residence time and H2 dilution on electron density in multi-hollow discharges of SiH4+ H2

K. Koga, H. Sato, Y. Kawashima, W. M. Nakamura, M. Shiratani

2010.2

LHDの第一壁へのダストフラックスの評価

古閑一憲, 岩下伸也, 宮田大嗣, 山田泰之, 白谷正治, 芦川直子, 増崎貴, 西村清彦, 相良明男, LHD実験グループ

第2回PWI合同研究会 2009.12

シランホロ―放電に対する水素希釈の効果

古閑一憲, 佐藤宙, 中村ウィリアム誠, 宮原弘臣, 松崎秀文, 白谷正治

プラズマ・核融合学会　九州・沖縄・山口支部　第１２回支部大会 2009.12

マルチホロ―放電を用いたa-Si:H製膜中の基板温度

古閑一憲, 川嶋勇毅, 佐藤宙, 白谷正治

2009.12

High Rate Deposition of Cluster-suppressed Amorphous Silicon Films Deposited Using a Multi-hollow Discharge Plasma CVDInternational conference

K. Koga, H. Sato, Y. Kawashima, M. Shiratani

2009 MRS Fall Meeting 2009.12

Plasma Treatment of Indium Compounds to Reduce Their Adverse Health EffectsInternational conference

K. Koga, S. Iwashita, H. Miyata, M. Shiratani, M. Hirata, Y. Kiyohara, A. Tanaka

2009 MRS Fall Meeting 2009.12

Synthesis of crystalline Si nanoparticles for third generation solar cells (Invited)InvitedInternational conference

K. Koga, Y. Kawashima, K. Nakahara, H. Sato, M. Shiratani, M. Kondo

10th Workshop on Fine Particle Plasmas 2009.11

Plasma treatment of CIGS to reduce toxicityInternational conference

K. Koga, S. Iwashita, H. Miyata, M. Shiratani, M. Hirata, Y. Kiyohara, A. Tanaka

Seventh Asian-European International Conference on Plasma Surface Engineering (AEPSE 2009) 2009.9

マイクロ波共振プローブを用いたH2+SiH4マルチホロー放電の電子密度計測

古閑一憲, 佐藤　宙, 川嶋勇毅, 白谷正治

第70回応用物理学会学術講演会 2009.9

プラズマCVDを用いた微細構造への製膜形状制御（招待講演）Invited

古閑一憲, 白谷正治

西日本放電懇談会 2009.8

プラズマCVDの基礎 (Invited)Invited

古閑一憲

2009.7

LHDとモデル実験装置のダストの比較

古閑一憲, 岩下伸也, 宮田大嗣, 白谷正治、芦川直子, 増崎貴, 西村清彦, 相良明男, LHD実験グループ

第７回ＬＨＤにおけるＰＷＩ共同研究・検討会 2009.6

高品質光安定a-Si:H薄膜作製用マルチホロー放電における電子密度の空間分布

古閑一憲、佐藤宙、川嶋勇毅、中村誠ウィリアム、白谷正治

電気学会プラズマ研究会 2009.6

Anisotropic deposition in narrow trenches using hydrogen assisted plasma CVD methodInternational conference

K. Koga, T. Nomura, M. Shiratani, M. Sekine, Y. Setsuhara, M. Hori

2009.5

Deposition profile control of carbon films in trenches using a plasma CVD method (Invited)InvitedInternational conference

K. Koga

The 7th EU-Japan Joint Symposium on Plasma Processing 2009.4

高品質a-Si堆積用マルチホロー放電プラズマ

古閑一憲

太陽電池製造用新規プラズマ源に関する研究会 2009.3

Conductivity of nc-Si films depsited　using multi-hollow discharge plasma CVD method

プラズマ科学シンポジウム２００９／第２６回プラズマプロセシング研究会 2009.2

High Rate Deposition of a-Si:H Depositied using a Low Gas Pressure Multi-hollow Discharge Plasma CVD Method

K. Koga, W. M. Nakamura, H. Sato, M. Tanaka, H. Miyahara,, M. Shiratani

2009.2

プラズマプロセスにおける揺らぎの抑制と増幅 (招待講演)Invited

古閑一憲

プラズマ・核融合学会「プラズマ－バイオ融合科学への新展開」第２回専門委員会 2009.1

シランホロー放電に対する水素希釈の効果

古閑一憲, 佐藤宙, 中村ウィリアム誠, 宮原弘臣, 松崎秀文, 白谷正治

プラズマ・核融合学会　第１２回九州・沖縄・山口支部大会 2008.12

Dust Particles in Size Range from 1 nm to 10 μm Sampled in LHDInternational conference

2008.12

Improvement in deposition rate of a-Si:H films using a low pressure multi-hollow discharge plasma CVD methodInternational conference

K. Koga, H. Sato, W. M. Nakamura, H. Miyahara, H. Matsuzaki, M. Shiratani

ICPP2008 Satellite Meeting on Plasma Physics, Advanced Applications in Aso 2008.9

水素希釈シラン有磁場マルチホロー放電を用いた高光安定a-Si:H膜の堆積

古閑一憲, 中村ウィリアム誠, 佐藤 宙, 宮原弘臣, 白谷正治

2008年秋季第69回応用物理学会学術講演会 2008.9

プラズマCVDを用いたナノ粒子含有多孔質低誘電率膜の作製

古閑一憲

平成２０年度西日本放電懇談会 2008.8

Deposition of highly stable a-Si:H films using hydrogen diluted silane hollow dischargeInternational conference

K. Koga, H. Sato, W. M. Nakamura, H. Miyahara, H. Matsuzaki,, M. Shiratani

The 3rd International School of Advanced Plasma Technology 2008.7

Nano-structure formation using Plasma (Invited)Invited

2008.4

Effects of hydrogen dilution on a-Si:H deposition using silane hollow discharges

K. Koga, H. Sato, W. M. Nakamura, H. Miyahara, H. Matsuzaki, M. Shiratani

2008.1

Control of deposition profile of Cu in trenches using ion-enhanced surface reaction (Invited)InvitedInternational conference

K. Koga, M. Shiratani

The 5th International Symposium on Advanced Plasma Processing, Diagnostics, The 1st International Symposium on Flexible Electronics Technology 2007.4

Cluster-suppressed plasma CVD method employing VHF dischargesInternational conference

K. Koga, M. Shiratani, Y. Watanabe

Fine Particle Plasmas: Basis, Applications - Third Workshop on Fine Particle Plasmas 2002.12

プラズマスパッタリングによるSiナノ構造の自己組織的形成

古閑 一憲, 甲斐 幹英, 白谷 正治, 渡辺 征夫

電気学会　プラズマ研究会 2002.12

Correlation between cluster amount, qualities of a-Si:H films for SiH4 plasma CVDInternational conference

K. Koga, K. Imabeppu, M. Kai, A. Harikai, M. Shiratani, Y. Watanabe

American Vaccum Society 49th International Symposium 2002.11

クラスタ抑制プラズマCVD法を用いて堆積したa-Si:H膜の膜質に及ぼす放電周波数の影響

古閑 一憲, 今別府 謙吾, 白谷 正治, 渡辺　征夫

平成14年度応用物理学会九州支部講演会 2002.11

クラスター抑制プラズマCVD法による高品質a-Si:H堆積

古閑 一憲, 白谷 正治, 古閑 一憲, 渡辺 征夫

第18回九州・山口プラズマ研究会 2002.11

シラン高周波放電を用いたナノ結晶シリコンクラスタの生成

古閑 一憲, 甲斐 幹英, 白谷 正治, 渡辺 征夫

第62回応用物理学学術講演会 2002.9

アモルファスシリコン作製になぜ放電周波数を高周波化するか？

古閑 一憲, 白谷 正治, 渡辺 征夫

西日本放電懇談会 2002.8

Carbon nano-particles due to interaction between H2 plasmas, carbon wallInternational conference

K. Koga, R. Ueharaa, M. Shiratani, Y. Watanabe, A. Komori

Joint Meeting of 16th European Conference on Atomic, Molecular Physics of Ionized Gases, 5th International Conference on Reactive Plasmas 2002.7

Suppression methods of cluster growth in silane discharges, their application to deposition of super high quality a-Si:H filmsInternational conference

K. Koga, K. Imabeppu, M. Kai, A. Harikai, M. Shiratani, Y. Watanabe

2002.5

クラスタ抑制ＰＥＣＶＤ法により作製したa-Si:H薄膜の膜質とクラスタ量の相関

古閑 一憲, 甲斐 幹英, 今別府 謙吾, 白谷 正治, 渡辺 征夫

第49回応用物理学関係連合講演会 2002.3

水素プラズマとカーボン壁の相互作用による微粒子形成

古閑 一憲, 上原 龍児, 白谷 正治, 渡辺 征夫, 小森 彰夫

第49回応用物理学関係連合講演会 2002.3

シランプラズマ中のクラスタ量と電子エネルギー分布への放電周波数の影響

古閑 一憲, 針貝 篤史, 白谷 正治, 渡辺 征夫

第49回応用物理学関係連合講演会 2002.3

In situ mesurement of size, density of particles in sub-nm size rangeInternational conference

K. Koga, M. Shiratani, Y. Watanabe

Seminar of Particle Technology Division of Korean Chemical Engineering 2002.2

In situ mesurement of size, density of particles in subnm size range (Invited)Invited

K. Koga, M. Shiratani, Y. Watanabe

The Seminar of Particle Technology Division of Korean Chemical Engineering 2002.2

Preliminary experiments on dust particles formation due to interaction between plasma, graphite wallInternational conference

K. Koga, M. Shiratani, Y. Watanabe

Fine Particle Plasmas: Basis, Applications - Second Workshop on Fine Particle Plasmas 2001.12

LSI内微細銅配線形用プラズマCVD

古閑 一憲, 白谷 正治, 古閑 一憲, 渡辺 征夫

第17回九州・山口プラズマ研究会 2001.11

ダイバータ壁とプラズマの相互作用による微粒子形成機構研究用装置の試作

古閑 一憲, 徳安 達郎, 上原 龍児, 白谷 正治, 渡辺 征夫

第18回プラズマ・核融合学会年会 2001.11

シラン高周波放電中のクラスタ成長に関する水素希釈と励起周波数の効果

古閑 一憲, 針貝 篤史, 白谷 正治, 渡辺 征夫, 渡邉 剛

第62回応用物理学学術講演会 2001.9

Deposition of super high quality a-Si:H thin films using cluster-suppressed plasma CVD reactorInternational conference

K. Koga, T. Sonoda, N. Shikatani, M. Shiratani, Y. Watanabe

International Conference on Phenomena in Ionized Gases 2001.7

クラスタ抑制プラズマCVD装置による高品質a-Si:H作製

古閑 一憲, 園田 剛士, 鹿谷 昇, 白谷 正治, 渡辺 征夫

第48回応用物理学関係連合講演会 2001.3

水素希釈シラン高周波放電中の電子密度及びイオン密度

古閑 一憲, 田中 健一, 白谷 正治, 渡辺 征夫

第48回応用物理学関係連合講演会 2001.3

Effects of H2 dilution, excitation frequency on initial growth of clusters in silane plasmasInternational conference

K. Koga, K. Tanaka, M. Shiratani, Y. Watanabe

Plasma Science Symposium 2001/ 18th Symposium on Plasma Processing 2001.1

シランプラズマ中に発生する微粒子の表面付着確率

古閑 一憲, 徳安　達郎, 白谷 正治, 渡辺 征夫

平成12年度応用物理学会九州支部講演会 2000.12

シランプラズマ中のSinHxクラスタ核のその場計測と成長制御

古閑 一憲, 田中 健一, 徳安 達郎, 白谷 正治, 渡辺 征夫

プラズマ・核融合学会九州地区第4回研究発表講演会 2000.12

Initial growth of clusters in silane rf dischargesInternational conference

K. Koga, K. Tanaka, T. Tokuyasu, M. Shiratani, Y. Watanabe

53rd Annual Gaseous Electronics Conference 2000.10

シランプラズマ中のクラスタ成長に対する水素希釈・放電周波数の効果

古閑 一憲, 田中 健一, 白谷 正治, 渡辺 征夫

第61回応用物理学学術講演会 2000.9

シラン高周波放電中クラスタの表面付着確率

古閑 一憲, 徳安 達郎, 白谷 正治, 渡辺 征夫

第61回応用物理学学術講演会 2000.9

シラン高周波放電中のクラスタのサイズ・密度測定

古閑 一憲, 松岡 泰弘, 田中 健一, 白谷 正治, 渡辺 征夫

第47回応用物理学関係連合講演会 2000.3

プラズマ中のクラスタの新計測法

古閑 一憲, 松岡 泰弘, 田中 健一, 白谷 正治, 渡辺 征夫

第17回プラズマプロセシング研究会 2000.1

シランプラズマ中の微粒子成長の基板材料依存性

古閑 一憲, 前田 真一, 白谷 正治, 渡辺 征夫

平成11年度応用物理学会九州支部講演会 1999.12

反応性プラズマにおける微粒子発生

古閑 一憲, 前田 真一, 松岡 泰弘, 田中 健一, 白谷 正治, 渡辺 征夫

プラズマ・核融合学会九州地区第3回研究発表講演会 1999.12

水素希釈によるシラン高周波放電中微小微粒子の抑制効果

古閑 一憲, 松岡 泰弘, 田中 健一, 白谷 正治, 渡辺 征夫

第60回応用物理学学術講演会 1999.9

シラン高周波放電における微小微粒子の抑制

古閑 一憲

西日本放電懇談会 1999.8

Characteristics of Asymmetric Ion Sheath in a Negative Ion PlasmaInternational conference

K. Koga, H. Naitou, Y. Kawai

2nd International Conference on the Physics of Dusty Plasmas 1999.5

イオンシース不安定性と非対称イオンシース構造

古閑 一憲, 内藤 裕志, 河合 良信

プラズマ・核融合学会九州地区第2回研究発表講演会 1999.2

プラズマスパッタによる高移動度アモルファスITO成膜におけるハイブリッド機械学習モデル

鎌滝晋礼, 板垣奈穂, 山下大輔, 奥村賢直, 山下尚人, 古閑一憲, 白谷正治

第71回応用物理学会 春季学術講演会 2024.3

Large-Scale Fabrication of Tm3 Fe5 O12 Film with Perpendicular Magnetic Anisotropy Using Magnetron SputteringInternational conference

A. M. Nurut, S. Obinata, T. Okumura, K. Kamataki, K. Koga, N. Itagaki, M. Shiratani, N. Yamashita

ISPlasma 2024.3

イネ種皮のプラズマ起因化学種透過性の二次元分布解析

史合平, 奥村賢直, P. Attri, 山下大輔, 鎌滝晋礼, 山下尚人, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治

第71回応用物理学会 春季学術講演会 2024.3

プラズマ照射によるシロイヌナズナ種皮の物質透過性変化

奥村賢直, 古閑一憲, アタリパンカジ, 山下大輔, 鎌滝晋礼, 山下尚人, 板垣奈穂, 白谷正治, 南原英司

第71回応用物理学会 春季学術講演会 2024.3

モデル植物ゼニゴケを用いた低温プラズマ照射の初発反応と成長に対する影響の解析

坪山祥子, 奥村賢直, 古閑一憲, 白谷正治, 朽津和幸

第71回応用物理学会 春季学術講演会 2024.3

大気圧プラズマを用いた窒素固定における電極温度の効果

中尾匠, 奥村賢直, パンカジアタリ, 山下大輔, 鎌滝晋礼, 山下尚人, 板垣奈穂, 白谷正治, 古閑一憲

第71回応用物理学会 春季学術講演会 2024.3

プラズマ反応場とナノ粒子生成：成長制御と応用展開

布村正太, 白谷正治

第71回応用物理学会 春季学術講演会 2024.3

プラズマを用いた CO2 のメタン化におけるモレキュラーシーブの活用

都甲将, 奥村賢直, 鎌滝晋礼, 竹中弘祐, 古閑一憲, 白谷正治, 節原裕一

第71回応用物理学会 春季学術講演会 2024.3

CxHy+ArプラズマCVDを用いた水素化アモルファスカーボン膜の堆積特性に対するガス圧力の効果

小野晋次郎, 恵利眞人, 奥村賢直, 山下尚人, 鎌滝晋礼, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治

第71回応用物理学会 春季学術講演会 2024.3

Sputtering deposition of low resistive 30-nm-thick ZnO:Al films on seed layers grown via solid phase crystallization of fractionally crystallized ZnON filmsInternational conference

Y. Wada, S. Zhiyuan, H. Yabuta, N. Yamashita, T. Okumura, K. Kamataki, H. Kiyama, K. Koga, M. Shiratani, N. Itagaki

ISPlasma 2024.3

Deposition of carbon nanoparticles fabricated by multi-hollow discharge plasma CVD on DC biased substratesInternational conference

K. Koga, S. Ono, M. Eri, S. H. Hwang, T. Okumura, K. Kamataki, N. Yamashita, N. Itagaki, M.Shiratani

ISPlasma 2024.3

Molecular structure analysis of DBD plasma irradiated DMPO by LC-MSInternational conference

T. Okumura, H. Shi, P.Attri, D. Yamasita, K. Kamataki, N.Yamasita, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratan

ISPlasma 2024.3

Influence of CO and H2O2 in plasma agricultureInternational conference

P. Attri, T. Okumura, K. Koga, K. Kamataki, M. Shiratani

ISPlasma 2024.3

Nitrogen Fixation to Leaf Mold Using Air Plasma and Evaluation of Phenotype Response of Sugarcane to Nitrogen-Fixed FertilizerInternational conference

T.Nakao, T. Okumura, P. Attri, D. Yamashita, K. Kamataki, N. Yamashita, N. Itagaki, M. Shiratani, K. Koga

ISPlasma 2024.3

プラズマスパッタによる高品質アモルファスITO薄膜形成のためのハイブリッド機械学習モデル（招待講演）Invited

鎌滝晋礼，板垣 奈穂，山下 大輔, 奥村 賢直，山下 尚人, 古閑 一憲, 白谷 正治

2024.1

Predictions for High Quality Amorphous ITO(In2O3:Sn) Film Formation via Hybrid Machine Learning Model (Invited)InvitedInternational conference

K. Kamataki, N. Itagaki, D. Yamashita, T. Okumura, N. Yamashita, K. Koga, M. Shiratani

ICTS 2024.1

Induction of plant responses by plasma irradiation to seeds and their quantitative evaluation (Invited)InvitedInternational conference

T. Okumura, P. Attri, Y. Ishibashi, K.Koga, M. Shiratani

ICTS 2024.1

Effects of Carbon Nanoparticle Interposed between Two Hydrogenated Amorphous Carbon Films on Surface Morphology of a-C:H Film

S. Ono, M. Eri, T. Okumura, K. Kamataki, N. Yamashita, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

2023.12

Enhancement of The Coercivity and Blocking Temperature of Co doped ZnO films by RF sputtering Using NitrogenInternational conference

M. N. Agusutrisno, K. Kamataki, T. Okumura, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani, N. Yamashita

MRM2023/IUMRS-ICA2023 2023.12

Surface Functionalization of Polytetrafluoroethylene using Atmospheric Pressure DBD Plasma of Nitrogen with Water-Ethanol VaporInternational conference

S. W. Fitriani, M. Shiratani, A. Hatta

MRM2023/IUMRS-ICA2023 2023.12

Analysis of Plasma Processes using Machine Learning and Quantum ComputingInternational conference

M. Shiratani, K. Kamataki

MRM2023/IUMRS-ICA2023 2023.12

Evaluation of Elastic Parameters of a-C:H Film with Carbon Nanoparticles Using Nanoindentation MethodInternational conference

K. Koga, S. Ono, M. Eri, T. Okumura, K. Kamataki, N. Yamashita, N. Itagaki, M. Shiratani

MRM2023/IUMRS-ICA2023 2023.12

Hybrid machine learning model prediction for high mobility amorphous ITO films fabricated by RF plasma sputteringInternational conference

K. Kamataki, N. Itagaki, D. Yamashita, T. Okumura, N. Yamashita, K. Koga, M. Shiratani

MRM2023/IUMRS-ICA2023 2023.12

Fabrication of ZnO Based Transparent Conducting Oxide as an Alternative to In2O3:Sn by Sputtering Combined with Solid Phase CrystallizationInternational conference

N. Itagaki, Z. Shen, Y. Wada, H. Yabuta, N. Yamashita, T. Okumura, K. Kamataki, K. Koga, M. Shiratani

MRM2023/IUMRS-ICA2023 2023.12

Catalytic ability of Cu and Ni in methanation with plasma catalysisInternational conference

S. Toko, T. Okumura, K. Kamataki, K. Takenaka, K. Koga, M. Shiratani, Y. Setsuhara

MRM2023/IUMRS-ICA2023 2023.12

クメンを用いた二周波容量結合プラズマ CVD 法による a-C:H 膜の製膜特性

恵利眞人, 小野晋次郎, 奥村賢直, 鎌滝晋礼, 山下尚人, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷 正治

プラズマ・核融合学会 九州・沖縄・山口支部 第27回 支部大会 2023.12

PECVD を用いた a-C:H 成膜における添加希ガス種における成膜機構の違い

池田築, 大高真寛，大友洋，脇田大地，頼建勲，鎌滝晋礼, 山下大輔，奥村賢直，山下尚人，板垣奈穂，古閑一憲, 白谷正治, 進藤崇央，松土龍夫

プラズマ・核融合学会 九州・沖縄・山口支部 第27回 支部大会 2023.12

任意波形放電による水素化アモルファスカーボン成膜：イオンフラックスが膜質に与える影響

脇田大地，大高真寛，池田築，頼建勲，大友洋，鎌滝晋礼，山下直人，板垣奈穂，古閑一憲，白谷正治，進藤崇央，松土龍夫

プラズマ・核融合学会 九州・沖縄・山口支部 第27回 支部大会 2023.12

逆 Stranski-Krastanov モードによるサファイア基板上への(ZnO)x(InN)1-x 膜のエピタキシャル成長:バッファー層のモフォロジーの影響

畑昌太朗，中野祐太郎，成重椋太，山下尚人，鎌滝晋礼，奥村賢直，古閑一憲，白谷正治，木山治樹，板垣奈穂

プラズマ・核融合学会 九州・沖縄・山口支部 第27回 支部大会 2023.12

逆 Stranski-Krastanov モードを利用した異なるオフ角を有するサファイア基板上への(ZnO)x(InN)1-x 膜の成長

中野祐太郎，成重椋太，山下尚人，鎌滝晋礼，奥村賢直，古閑一憲，白谷正治，木山治樹，板垣奈穂

プラズマ・核融合学会 九州・沖縄・山口支部 第27回 支部大会 2023.12

放電電圧変調波形が高周波容量結合プラズマに与える影響：PIC-MCC シミュレーション

長尾伊織，山本祐馬，佐藤優志，鎌滝晋礼，山下尚人, 奥村賢直，木山治樹，板垣奈穂，古閑一憲，白谷正治

プラズマ・核融合学会 九州・沖縄・山口支部 第27回 支部大会 2023.12

水と大気圧プラズマの相互作用による二酸化炭素分解

乙部響, P. Attri，奥村賢直, 史合平, 中尾匠，日高直哉, 鎌滝晋礼，山下大輔，板垣奈穂，古閑一憲，白谷正治

プラズマ・核融合学会 九州・沖縄・山口支部 第27回 支部大会 2023.12

TEOS-PECVD における発光分光計測を用いたSiO2 薄膜膜質推定についての研究

佐藤優志, 山本祐馬, F. W. Sukuma, 長尾伊織, 鎌滝晋礼, 山下大輔, 奥村賢直, 山下尚人, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治

プラズマ・核融合学会 九州・沖縄・山口支部 第27回 支部大会 2023.12

空気プラズマを用いた窒素固定に対する放電電力密度の効果

中尾匠, 奥村賢直, パンカジアタリ, 山下大輔, 鎌滝晋礼, 山下尚人, 板垣奈穂, 白谷正治, 古閑一憲

第40回 プラズマ・核融合学会 年会 2023.11

リアルタイム蛍光イメージングによる非熱プラズマ照射に対するゼニゴの初発応答解析

奥村賢直, 坪山祥子, 古閑一憲, 白谷正治, 朽津和幸

第40回 プラズマ・核融合学会 年会 2023.11

Effect of the plasma-generated reactive species on protein folding

P. Attri, T. Okumura, K. Koga, K. Kamataki, M. Shiratani

2023.11

プラズマ中に浮遊する微粒子の帯電量の新評価法

井口恒聖, 佐藤斗真, 鎌滝晋礼, P. Yiming, 山下大輔, 奥村賢直, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治, 富田健太郎

2023年(令和5年度)応用物理学会九州支部学術講演会 / The 8th Asian Applied Physics Conference 2023.11

TEOS-PECVD によるSiO2成膜におけるプラズマ発光強度と膜質の関係

山本祐馬, 佐藤優志, 長尾伊織, 鎌滝晋礼, 山下大輔, 奥村賢直, 山下尚人, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治

2023年(令和5年度)応用物理学会九州支部学術講演会 / The 8th Asian Applied Physics Conference 2023.11

任意電圧波形放電による容量結合プラズマにおける重畳周波数の効果：PIC-MCCモデル

頼 建勳, 鎌滝 晋礼, 山下 大輔, 奥村 賢直, 山下 尚人, 板垣 奈穂, 古閑 一憲, 白谷 正治

2023年(令和5年度)応用物理学会九州支部学術講演会 / The 8th Asian Applied Physics Conference 2023.11

Sputtering deposition of single crystalline ZnO films on sapphire substrates via inverted Stranski-Krastanov mode: effects of thickness of 3D island buffer layer

H. Otsuyama, R. Mitsuishi, T. Yunoue, K. Yataka, N. Yamashita, T. Okumura, K. Kamataki, K. Koga, M. Shiratani, N. Itagaki

2023.11

Comparative study of deposition characteristics of different precursors for plasma CVDInternational conference

S. Ono, M. Eri, T. Okumura, K. Kunihiro, N. Yamashita, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

DPS2023 2023.11

Quantitative Analysis of Electric Field Intensity Generated by Scalable Dielectric Barrier Discharge Electrodes for Irradiating to Plant SeedsInternational conference

K. Koga, T. Okumura, T. Nakao, K. Kamataki, N. Yamashita, N. Itagaki, P. Attri, M. Shiratani

DPS2023 2023.11

Combining machine learning of classification and regression models for predicting high quality amorphous ITO films fabricated by RF plasma sputteringInternational conference

K. Kamataki, N. Itagaki, D. Yamashita, T. Okumura, N. Yamashita, K. Koga, M. Shiratani

DPS2023 2023.11

持続可能世界へのプラズマ農業の可能な貢献

白谷正治,アトリパンカジ,奥村賢直,古閑一憲

第33回日本MRS年次大会 2023.11

水分存在下の大気圧プラズマ誘起CO2変換

古閑一憲,アタリパンカジ,史合平,中尾匠,奥村賢直,白谷正治

第33回日本MRS年次大会 2023.11

大量処理のためのプラズマ照射による土壌への窒素固定化の最適化

中尾 匠,奥村 賢,アタリ パンカジ,山下 大輔,鎌滝 晋礼,山下 尚人,板垣 奈穂,白谷 正治,古閑 一憲

第33回日本MRS年次大会 2023.11

液体クロマトグラフィー質量分析法を用いたプラズマ被照射物からの亜硝酸塩および硝酸塩の同時検出法の開発

日高 直哉,奥村 賢直,アタリ パンカジ,鎌滝 晋礼,山下 尚人,板垣 奈穂,古閑 一憲,白谷 正治

第33回日本MRS年次大会 2023.11

スケーラブル誘電体バリア放電プラズマを照射したDMPOの質量分析

乙部 響,史 合平,奥村 賢直,阿南 輝樹,アタリ パンカジ,山下 大輔,鎌滝 晋礼,山下 尚人,板垣 奈穂,古閑 一憲,白谷 正治

第33回日本MRS年次大会 2023.11

質量分析を用いたプラズマ照射イネ種子における分子修飾解析

史 合平,奥村 賢直,パンカジ アトリ,山下 大輔,鎌滝 晋礼,山下 尚人,板垣 奈穂,古閑 一憲,白谷 正治

第33回日本MRS年次大会 2023.11

低温プラズマによる植物の成長制御の分子メカニズム: 植物における活性酸素種の生理的役割

朽津和幸,坪山祥子,橋本貴史,橋本研志,奥村賢直,古閑一憲,白谷正治

第33回日本MRS年次大会 2023.11

Plasma effect on the enzyme structure: Experimental and simulation studies

P. Attri,T. Okumura, K. Koga, K. Kamataki, M. Shiratani

2023.11

種子への誘電体バリア放電プラズマ照射による植物の応答誘導

奥村賢直,アタリパンカジ,古閑一憲,白谷正治

第33回日本MRS年次大会 2023.11

Catalase enzyme inhibition's effect on plasma medicineInternational conference

P. Attri, T. Okumura1, K. Koga, M. Shiratani

AAPPS-DPP2023 2023.11

Fabrication of ZnO based transparent conducting oxides by sputtering combined with solid phase crystallization : a way to meet the future demand for transparent electrodes (Invited)InvitedInternational conference

N. Itagaki, Y. Wada, H. Yabuta, M. Shiratani

AAPPS-DPP2023 2023.11

Predictions for High Mobility Amorphous ITO(In2O3:Sn) Films via Hybrid Machine Learning ModelInternational conference

K. Kamataki, N. Itagaki, D. Yamashita, T. Okumura, N. Yamashita, K. Koga, M. Shiratani

AAPPS-DPP2023 2023.11

Impact of plasma irradiation on plant seeds metabolismInternational conference

T. Okumura, P. Attri, Y. Ishibashi, K. Koga, M. Shiratani

AAPPS-DPP2023 2023.11

Highly sensitive electric field vector measurements using an optically trapped fine particleInternational conference

Global Plasma Forum in Aomori 2023.10

Controlling the synthesis, transport, and surface coverage of carbon nanoparticles using plasma CVDInternational conference

S. Ono, M. Eri, T. Okumura, K. Kamataki, N. Yamashita, H. Kiyama, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

Global Plasma Forum in Aomori 2023.10

Evaluation of carbon nanoparticle adhesion on substrate surface deposited by plasma CVDInternational conference

K. Koga, S. Ono, M. Eri, T. Okumura, K. Kamataki, N. Yamashita, N. Itagaki, M. Shiratani

Global Plasma Forum in Aomori 2023.10

Evaluation of Interaction Between Substrate and Nanoparticles Deposited by Plasma Chemical Vapor DepositionInternational conference

K. Koga, S. Ono, M. Eri, T. Okumura, K. Kamataki, N.Yamashita, N. Itagaki, M. Shiratani

GEC 2023.10

プラズマ照射による窒素固定肥料へのサトウキビの表現型応答解析

中尾匠, 奥村賢直, パンカジアタリ, 古閑一憲, 山下大輔, 鎌滝晋礼, 山下尚人, 板垣奈穂, 白谷正治

第84回応用物理学会秋季学術講演会 2023.9

光ピンセットによる捕捉微粒子を用いたArプラズマ中の電場強度分布及び電場揺動計測(4)

鎌滝晋礼, 佐藤斗真, 井口恒聖, 富田健太郎, P. Yiming, 山下大輔, 山下尚人, 奥村賢直, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治

第84回応用物理学会秋季学術講演会 2023.9

ZnON膜からの固相結晶化ZnO膜の形成と透明導電膜シード層としての効果：ZnON膜の結晶化度の影響

和田義晴, 沈志遠, 薮田久人, 山下尚人, 奥村賢直, 鎌滝晋礼, 古閑一憲, 白谷正治, 板垣奈穂

第84回応用物理学会秋季学術講演会 2023.9

逆Stranski-Krastanovモードを用いたサファイア基板上へのZnO単結晶膜成長：MgOバッファー層の効果

湯上貴文, 矢高功太郎, 山下尚人, 山下大輔,　奥村賢直, 鎌滝晋礼, 木山治樹, 古閑一憲, 白谷正治, 板垣奈穂

第84回応用物理学会秋季学術講演会 2023.9

サファイア基板上への原子ステップを有するZn1-xMgxO薄膜の形成：3次元島バッファー層の形成温度の影響

矢高功太郎, 湯上貴文, 山下尚人, 奥村賢直, 鎌滝晋礼, 古閑一憲, 白谷正治, 板垣奈穂

第84回応用物理学会秋季学術講演会 2023.9

ZnOおよびScAlMgO4ステップ基板上への(ZnO)x(InN)1-x膜の室温エピタキシャル成長

成重椋太, 中野祐太朗, 山下尚人, 鎌滝晋礼, 奥村賢直, 木山治樹, 古閑一憲, 白谷正治, 薮田久人, 板垣奈穂

第84回応用物理学会秋季学術講演会 2023.9

逆Stranski-Krastanovモードによる格子不整合基板上への原子平坦 (ZnO)x(InN)1-x 膜の成長

中野祐太郎, 成重椋太, 山下尚人, 鎌滝晋礼, 奥村賢直, 古閑一憲, 白谷正治, 木山治樹, 薮田久人, 板垣奈穂

第84回応用物理学会秋季学術講演会 2023.9

質量分析を用いたプラズマ照射DMPOの分子修飾解析

史合平, 奥村賢直, P. Attri, 山下大輔, 鎌滝晋礼, 山下尚人, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治

第84回応用物理学会秋季学術講演会 2023.9

サンドウィッチ構造 a-C:H 膜の剥離と強度に対する 膜界面に堆積したナノ粒子の効果

小野晋次郎, 恵利眞人, 奥村賢直, 鎌滝晋礼, 山下尚人, 木山治樹, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治

第84回応用物理学会秋季学術講演会 2023.9

任意波形放電を用いた水素化アモルファスカーボン膜の膜質制御

大高真寛,大友洋, 池田築, 頼建勲, 脇田大地, 鎌滝晋礼, 山下直人, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治, 進藤崇央, 田中諭志, 松土龍夫

第84回応用物理学会秋季学術講演会 2023.9

プラズマを用いたCO2の水素還元における選択性の制御

都甲将, 奥村賢直, 鎌滝晋礼, 竹中弘祐, 古閑一憲, 白谷正治, 節原裕一

第84回応用物理学会秋季学術講演会 2023.9

質量分析を用いたプラズマ照射イネ種子における変動分子の組織別解析

史合平, 奥村賢直, A. Pankaj, 山下大輔, 鎌滝晋礼, 山下尚人, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治

2023年度(第76回)電気・情報関係学会九州支部連合大会 2023.9

大気圧空気プラズマによる硝酸態窒素固定量に対する放電電力密度依存性

中尾匠, 奥村賢直, A. Pankaj, 古閑一憲, 山下大輔, 鎌滝晋礼, 山下尚人, 板垣奈穂, 白谷正治

2023年度(第76回)電気・情報関係学会九州支部連合大会 2023.9

Measurement of electric field, UV photons, and long-lifetime reactive species generated by atmospheric pressure air plasma for plasma bio applicationsInternational conference

T. Okumura, S. Tsuboyama, Y. Tagawa, T. Nakao, T. Anan, H. Tanaka, K. Kamataki, N. Yamashita, N. Itagaki, P. Attri, K. Koga, M. Shiratani, K. Kuchitsu

ICPIG2023 2023.7

Effects of tailored voltage waveform discharges on deposition of hydrogenated amorphous carbon films by CH4/Ar capacitively coupled plasmaInternational conference

M. Otaka, H. Otomo, K. Ikeda, J. Lai, K. Kamataki, T. Okumura, N. Yamashita, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani, T. Shindo, S. Tanaka, T. Matsudo

ICPIG2023 2023.7

Optical tweezers technique for electric field strength and fluctuation measurements in plasma using a fine particleInternational conference

T. Sato, K. Kamataki, K. Tomita, P. Yiming, D. Yamashita, N. Yamashita, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

ICPIG2023 2023.7

Control of ion trajectory in high aspect ratio trenches by using amplitude modulated rf dischargesInternational conference

I. Nagao, Y. Yamamoto, K. Kamataki, T. Okumura, N. Yamashita, H. Kiyama, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

ICPIG2023 2023.7

Investigation of particle charge and interparticle interaction in a plasmaInternational conference

K. Kamataki, T. Sato, K. Tomita, P. Yiming, D. Yamashita, N. Yamashita, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

ICPIG2023 2023.7

Coverage control of carbon nanoparticles on substrate using capacitively coupled plasma chemical vapor depositionInternational conference

K. Koga, S. Ono, T. Okumura, K. Kamataki, N. Yamashita, N. Itagaki, M. Shiratani

ICPIG2023 2023.7

Sputter epitaxy of atomically flat (ZnO)x(InN)1-x films on sapphire substrates using ZnO(N) buffer layers fabricated by Ar/N2 dischargesInternational conference

Y. Nakano, R. Narishige, N. Yamashita, K. Kamataki, T. Okumura, K. Koga, M. Shiratani, H. Kiyama, H. Yabuta, N. Itagaki

ICPIG2023 2023.7

Deposition characteristics of cumene plasma CVD for high-speed deposition of high-density a-C:H filmsInternational conference

S. Ono, T. Okumura, K. Kamataki, N. Yamashita, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

ICPIG2023 2023.7

Relation between Spatial Distribution of Optical Emission Intensity and SiO2 Film Property in TEOS-PECVDInternational conference

Y. Yamamoto, I. Nagao, A. Yamamoto, K. Kamataki, D. Yamashita, T. Okumura, N. Yamashita, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

ICPIG2023 2023.7

Effects of Ne mixing on plasma enhanced chemical vapor deposition of a-C:H films using CH4/Ar/Ne capacitively coupled dischargesInternational conference

K. Ikeda, M. Otaka, H. Otomo, T. Arima, J. Lai, K. Kamataki, D. Yamashita, T. Okumura, N. Yamashita, H. Kiyama, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani, T. Shindo, S. Tanaka, T. Matsudo

ICPIG2023 2023.7

Sputter epitaxy of Zn1-xMgxO films on lattice-mismatched sapphire substrates utilizing ZnO(N)/MgO buffer layers fabricated by Ar/N2 and Ar/O2 dischargesInternational conference

T. Yunoue, K. Yataka, N. Yamashita, D. Yamashita, T. Okumura, K. Kamataki, H. Kiyama, K. Koga, M. Shiratani, H. Yabuta, N. Itagaki

ICPIG2023 2023.7

Pseudomorphic growth of (ZnO)x(InN)1-x films on ZnO substrates by magnetron sputtering using Ar/N2/O2 dischargesInternational conference

R. Narishige, Y. Nakano, N. Yamashita, K. Kamataki, T. Okumura, H. Kiyama, K. Koga, M. Shiratani, H. Yabuta, N. Itagaki

ICPIG2023 2023.7

Sputter deposition of low resistive 30-nm-thick ZnO:Al films using ZnO seed layers grown via solid-phase crystallizationInternational conference

Y. Wada, Z. Shen, H. Yabuta, N. Yamashita, T. Okumura, K. Kamataki, H. Kiyama, K. Koga, M. Shiratani, N. Itagaki

ICPIG2023 2023.7

Effects of lower discharge frequency on ion energy distribution function in dual frequency plasma studied by particle-in-cell/Monte Carlo methodInternational conference

J. Lai, T. Arima, M. Otaka, K. Ikeda, I. Nagao, K. Kamataki, D. Yamashita, N. Yamashita, N. Itagaki, T. Okumura, K. Koga, M. Shiratani

ICPIG2023 2023.7

Stress reduction of a-C:H films by nano-structuring of inter-layer of films deposited by plasma CVD (Invited)InvitedInternational conference

K. Koga, S. Ono, T. Okumura, M. Shiratani

Thermec'2023 2023.7

プラズマ中帯電微粒子の相互作用に関する研究

井口恒聖, 佐藤斗真, 鎌滝晋礼, 富田健太郎, P. Yiming, 山下尚人, 山下大輔, 奥村賢直, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治

2023年度日本表面真空学会　九州支部学術講演会 2023.6

ナノ粒子を用いた膜界面の形状ゆらぎによる膜応力低減

小野晋次郎, 恵利眞人, 奥村賢直, 鎌滝晋礼, 山下尚人, 木山治樹, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治

2023年度日本表面真空学会　九州支部学術講演会 2023.6

Plasma-induced CO2 conversion: Experimental and Computational studyInternational conference

P. Attri, T. Okumura, K. Koga, N. Takeuchi, K. Kamataki, M. Shiratani

ISPC25 2023.5

Prediction of Plasma CVD Process Data of a-Si:H Films via Machine LearningInternational conference

K. Kamataki, F. L. Chawarambwa, D. Yamashita, N. Yamashita, T.Okumura, N. Itagaki, K.Koga, M. Shiratani

ISPC25 2023.5

Effects of sputtering of a-C:H films on the chemical compositionInternational conference

M. Shiratani, K. Ikeda, M. Otaka, S. Ono, T. Okumura, K. Koga, K. Kamataki

ISPC25 2023.5

プラズマCVD法で堆積した2層a-C:Hの機械的強度に対するカーボンナノ粒子挿入の効果

田渕竜也, 小野晋次郎, 奥村賢直, 鎌滝晋礼, 山下尚人, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治

第70回応用物理学会 春季学術講演会 2023.3

Non-off Axis Sputtering Deposition of Ferrimagnetic Insulator Film with Perpendicular Magnetic Anisotropy

2023.3

プラズマ照射によるレタス種子表面および内部の分子変動

阿南輝樹, 奥村賢直, アトリパンカジ, 鎌滝晋礼, 山下尚人, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治

第70回応用物理学会 春季学術講演会 2023.3

光ピンセットによる捕捉微粒子を用いたArプラズマ中の電場強度分布及び電場揺動計測(3)

鎌滝晋礼, 佐藤斗真, 富田健太郎, P. Yiming, 山下大輔, 山下尚人, 奥村賢直, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治

第70回応用物理学会 春季学術講演会 2023.3

プラズマおよび電界を用いた農産物の生産法，加工・保存法の新展開

奥村賢直, P. Attri, 古閑一憲, 白谷正治

令和５年電気学会全国大会 2023.3

Molecular Structure Change in Phenol by Gas-Liquid Discharge PlasmaInternational conference

A. Khalil, T. Okumura, P. Attri, K. Kamataki, K. Koga, M. Shiratani

ISPlasma2023/IC-PLANTS2023 2023.3

Effects of Pulsed Microwave ECR Plasma on Si3N4 EtchingInternational conference

M. Morimoto, M. Matsui, K. Koga, M. Shiratani

ISPlasma2023/IC-PLANTS2023 2023.3

種子へのプラズマ照射量の定量解析最前線 (招待講演)Invited

奥村賢直, 古閑一, 白谷正治

プラズマ種子科学研究会 2023.2

種子へのプラズマ照射量定量解析 (招待講演)Invited

奥村賢直, 古閑一憲, 白谷正治

東北プラズマフォーラム 令和4年度 東北大学 電気通信研究所 共同プロジェクト研究会 2023.2

Contribution of non-thermal plasma in agriculture: Focus on pre-harvest treatmentInvitedInternational conference

P. Attri, T. Okumura, Y. Ishibashi, K. Koga, M. Shiratani

SAPP XXIV 2023.1

Enhancing the Performance of Quasi-Solid Dye-Sensitized Tandem Solar cells Under Low-Concentrated LightInternational conference

F. L. Chawarambwa, M. Shiratani, E. T. Putri

7th International Conference on Advances in Functional Materials(AFM-2022) 2023.1

Measurement of fluctuation of electric field in Ar plasmas using a fine particle trapped with laser tweezersInternational conference

T. Sato, S. Okunaga, K. Kamataki, K. Tomita, P. Yiming, D. Yamashita, T. Okumura, N. Yamashita, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

7th International Conference on Advances in Functional Materials(AFM-2022) 2023.1

The effect of plasma off time on CO2 methanation using pulsed discharge plasmaInternational conference

T. Hasegawa, M. Ideguchi, D. Yamashita, S. Toko, K. Kamataki, K. Koga, M. Shiratani

7th International Conference on Advances in Functional Materials(AFM-2022) 2023.1

Structural Characteristics of Carbon Sphere Composite Deposited by Ar+CH4 Plasma Chemical Vapor Deposition MethodInternational conference

K. Koga, S. H. Hwang, S. Ono, D. Yoshikawa, T. 0kumura, K. Kamataki, N. Yamashita, N. Itagaki, M.Shiratani

7th International Conference on Advances in Functional Materials(AFM-2022) 2023.1

Sputtering deposition of single crystalline Zn1-xMgxO films on sapphire substrate via inverted Staranski-Krastanov mode: effects of substrateInternational conference

K.Yataka, N. Yamashita, D. Takahashi, T. Okumura, K. Kamataki, K. Koga, M. Shiratani, N. Itagaki

7th International Conference on Advances in Functional Materials(AFM-2022) 2023.1

Time resolved optical emission spectroscopy in Ar and Ar/Ne capacitively coupled radio frequency plasma.International conference

M. Otaka, D. Nagamatsu, T. Arima, K. Kamataki, D. Yamashita, N. Yamashita, T. Okumura, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

7th International Conference on Advances in Functional Materials(AFM-2022) 2023.1

Fluctuation of plasma and amount of nanoparticles in TEOS amplitude modulated rf dischargeInternational conference

A. Yamamoto, I. Nagao, K. Kamataki, D. Yamashita, T. Okumura, N. Yamashita, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

7th International Conference on Advances in Functional Materials(AFM-2022) 2023.1

Effects of Amplitude Modulation Discharge on Ion Energy and Angular Distributions studied by PIC-MCC methodInternational conference

I. Nagao, A. Yamamoto, K. Kamataki, D. Yamashita, T. Okumura, N. Yamashita, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

7th International Conference on Advances in Functional Materials(AFM-2022) 2023.1

Effects of Gas Pressure on Deposition Characteristics of Hydrogenated Amorphous Carbon Films Produced by Ar + CH4 Capacitively Coupled PlasmaInternational conference

S. Ono, S. H. Hwang, D. Yoshikawa, T. Okumura, K. Kamataki, N. Yamashita, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani, Masaharu

7th International Conference on Advances in Functional Materials(AFM-2022) 2023.1

Effects of thermal treatment of ZnO substrates on epitaxial growth of (ZnO)x(InN)1-x films fabricated by magnetron sputteringInternational conference

R. Narishige, N. Yamashita, K. Kamataki, T. Okumura, K. Koga, M. Shiratani, N. Itagaki

7th International Conference on Advances in Functional Materials(AFM-2022) 2023.1

Effects of RF powers on the crystal quality and surface morphology of single crystalline ZnO films deposited by magnetron sputteringInternational conference

R. Mitsuishi, N. Yamashita, D. Takahashi, T. Okumura, K. Kamataki, K. Koga, M. Shiratani, N. Itagaki

7th International Conference on Advances in Functional Materials(AFM-2022) 2023.1

Microscopic analysis of single crystalline Zn1-xMgxO thin films on sapphire grown via inverted Stranski-Krastanov modeInternational conference

N. Yamashita, D. Takahashi, T. Okumura, K. Kamataki, K. Koga, M. Shiratani, N. Itagaki

7th International Conference on Advances in Functional Materials(AFM-2022) 2023.1

Effects of lower discharge frequency on plasma parameters in capacitively coupled plasmas studied by particle-in-cell/Monte Carlo collision methodInternational conference

T. Arima, M. Otaka, I. Nagao, K. Kamataki, D. Yamashita, N. Yamashita, N. Itagaki, T. Okumura, K. Koga, M. Shiratani

7th International Conference on Advances in Functional Materials(AFM-2022) 2023.1

Developing Prediction of Key Process Parameters and Sputtering Conditions for Amorphous and high Mobility ITO/In2O3 Films via Machine LearningInternational conference

K. Kamataki, Y. Mido, I. Nagao, D. Yamashita, T. Okumura, N.Yamashita, K. Koga, N. Itagaki, M. Shiratani

7th International Conference on Advances in Functional Materials(AFM-2022) 2023.1

A Study of Solid-phase Crystallization of Amorphous ZnON FilmsInternational conference

Z. Shen, Y. Mido, N. Yamashita, T. Okumura, K. Kamataki, K. Koga, M. Shiratani1, H. Yabuta, N. Itagaki

7th International Conference on Advances in Functional Materials(AFM-2022) 2023.1

Performance characteristics of bifacial dye-sensitized solar cells with a v-shape low concentrating light systemInternational conference

T. E. Putri, F. L. Chawarambwa, A. Pankaj, K. Kamataki, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

7th International Conference on Advances in Functional Materials(AFM-2022) 2023.1

サファイア基板上への Zn1-xMgxO 膜のスパッタエピタキシー：ZnON/MgO バッファー層の効果

湯上貴文, 矢高功太郎, 三石遼, 山下尚人, 山下大輔, 奥村賢直, 鎌滝晋礼, 木山治樹, 古閑一憲，白谷正治, 薮田久人, 板垣奈穂

プラズマ・核融合学会 九州・沖縄・山口支部 第26回 支部大会 2022.12

プラズマ照射を用いて窒素リッチ化した肥料で栽培したサトウキビの生育評価

中尾匠，小野晋二郎，山本小龍，内野泰祐，奥村賢直，P. Attri，古閑一憲, 山下大輔，鎌滝晋礼，山下尚人，板垣奈穂，白谷正治

プラズマ・核融合学会 九州・沖縄・山口支部 第26回 支部大会 2022.12

水への CO₂プラズマ照射による選択的 CO 生成

内野泰佑, アタリ パンカジ, 奥村賢直, 古閑一憲，山下大輔, 鎌滝普礼, 山下尚人, 板垣奈穂, 白谷正治

プラズマ・核融合学会 九州・沖縄・山口支部 第26回 支部大会 2022.12

Ar/Ne/CH4 プラズマ CVD による a-C:H 成膜への Ne 混合効果

池田築，大高真寛，大友洋，有馬聡明，頼建勲，鎌滝晋礼, 山下大輔，奥村賢直，山下尚人，板垣奈穂，古閑一憲，白谷正治, 進藤崇央，田中諭志，松土龍夫

プラズマ・核融合学会 九州・沖縄・山口支部 第26回 支部大会 2022.12

ナノインデンテーションを用いた a-C:H/CNP/a-C:H サンドイッチ構造膜の機械的強度評価

田渕竜也, 小野晋次郎, 奥村賢直, 鎌滝晋礼, 山下尚人, 板垣奈穂, 古閑一憲，白谷正治

プラズマ・核融合学会 九州・沖縄・山口支部 第26回 支部大会 2022.12

固相結晶成長した ZnO シード層上への ZnO:Al 膜のスパッタリング成膜

和田義晴, 沈志遠, 薮田久人, 山下尚人, 奥村賢直, 鎌滝晋礼, 木山治樹, 古閑一憲，白谷正治, 板垣奈穂

プラズマ・核融合学会 九州・沖縄・山口支部 第26回 支部大会 2022.12

Influence of Seed Dormancy on Plasma Irradiation Effects on their GerminationInternational conference

K. Koga, T. Okumura, P. Attri, T. Anan, K. Kamataki, N. Yamashita, N. Itagaki, M. Shiratani, Y. Ishibashi, S. Tsuboyama, K. Kuchitsu, K. Ishikawa, M. Hori

2022.12

Mechanism of homogeneous nucleation of ZnO in N2 and Ar plasmaInternational conference

N. Yamashita, R. Mitsuishi, Y. Nakamura, T. Okumura, K. Kamataki, K. Koga, M. Shiratani

2022.12

Predictive Analytics in Impurity Mediated Amorphization Plasma Sputtering Process using Machine Learning tools and TechniquesInternational conference

F. L. Chawarambwa, M. Shiratani, K. Kamataki, N. Itagaki

2022.12

Electric fields measurement using an optically trapped charged particle in Ar plasma (Invited)InvitedInternational conference

K. Kamataki, T. Sato, k. Tomita, P. Yimin, D. Yamashita, N. Yamashita, T. Okumura, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

2022.12

Role of reactive nitrogen species on the radish seedsInternational conference

P. Attri, T. Okumura, T.E. Putri, F. L. Chawarambwa, K. Koga, K. Kamataki, M. Shiratani

2022.12

Issues of Advanced EUV LithographyInternational conference

M. Shiratani, K. Kamataki, K. Koga

2022.12

Formation of Graphene Nanoribbon-like Structure in Carbon Nanoparticles Fabricated by Ar+CH4 Plasma Chemical Vapor DepositionInternational conference

S. Ono, S. H. Hwang, T. Okumura, K. Kamataki, N. Yamashita, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani, J. S. Oh, S. Takabayashi, T. Nakatani

2022.12

Effect of water absorbent materials on CO2 methanation using plasma catalystInternational conference

T. Hasegawa, D. Yamashita, S. Toko, K. Kamataki, K. Koga, M. Shiratani

2022.12

Effects of Amplitude Modulated Discharge on SiO2 film qualities in TEOS Plasma CVDInternational conference

Y. Yamamoto, A. Yamamoto, I. Nagao, M. Otaka, D. Yamashita, K. Kamataki, T. Okumura, N. Yamashita, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

2022.12

Investigation of dual frequency method in capacitively coupled plasmas using particle-in-cell/Monte Carlo methodInternational conference

J. Lai, T. Arima, M. Otaka, I. Nagao, K. Kamataki, D. Yamashita, N. Yamashita, N. Itagaki, T. Okumura, K. Koga, M. Shiratani

2022.12

Measurement of the charge on single fine particles in plasmaInternational conference

K. Kamataki, T. Sato, K. Tomita, Y. Pan, D. Yamashita, N. Yamashita, T. Okumura, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

2022.12

Discharge frequency dependence on spatio-temporal distribution of excitation rates of Ar 2p1 and Ne 2p1 in Ar and Ar/Ne capacitively coupled plasmasInternational conference

K. Ikeda, M. Otaka, T. Arima, J. Lai, K. Kamataki, T. Okumura, N. Yamashita, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

2022.12

Improvement of Germination Characteristics of Sorghum bicolor Seeds Irradiated by Surface Discharge PlasmaInternational conference

S. Yamamoto, T. Nakao, T. Anan, T. Okumura, P. Attri, K. Kamataki, N. Yamashita, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani, Y. Yanagawa, S. Shimada

2022.12

Plasma Irradiation-induced Molecular Modification of Quercetin as Plant AntioxidantInternational conference

T. Anan, T. Nakao, T. Okumura, P. Attri, D. Yamashita, K. Kamataki, N. Yamashita, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani, Y. Ishibashi

2022.12

Study on biomolecules extracted from plasma-irradiated plant seeds using quadrupole mass spectrometerInternational conference

T. Okumura, P. Attri, K. Kamataki, N. Yamashita, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

2022.12

Sputter epitaxy of (ZnO)x(InN)1-x films on sapphire substrates using ZnON buffer layers

Y. Nakano, R. Narishige, N. Yamashita, K. Kamataki, T. Okumura, K. Koga, M. Shiratani, H. Kiyama, H. Yabuta, N. Itagaki

2022.11

TEOS-PECVD における SiO2成膜における AM放電の効果

山本祐馬, 長尾伊織, 大高真寛, 山本晃大, 鎌滝晋礼, 古閑一憲, 白谷正治

2022年(令和４年度)応用物理学会九州支部学術講演会 / The 7th Asian Applied Physics Conference 2022.11

二周波重畳容量結合並行平板放電の PIC-MCC シミュレーション:駆動周波数の効果

有馬聡明, 頼建勲, 大高真寛, 池田築, 長尾伊織, 鎌滝晋礼, 山下大輔, 山下尚人, 板垣奈穂, 奥村賢直, 古閑一憲, 白谷正治

2022年(令和４年度)応用物理学会九州支部学術講演会 / The 7th Asian Applied Physics Conference 2022.11

Sputtering deposition of ZnO:Al Transparent Conducting Films on Seed Layers Crystallized via Thermal Annealing of Amorphous ZnON Films

Z. Shen, H. Yabuta, Y. Wada, N. Yamashita, T. Okumura, K. Kamataki, K. Koga, M. Shiratani, H. Kiyama, N. Itagaki

2022.11

One-dimensional particle-in-cell / Monte Carlo collision model simulation of the effects of amplitude modulation discharge on ion/electron energy distribution functionsInternational conference

I. Nagao, A. Yamamoto, Y. Yamamoto, K. Kamataki, T. Okumura, N. Yamashita, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

DPS2022 2022.11

Effects of plasma activ ated lact ate solution administration to seeds of Arabidopsis thaliana on germination characteristicsInternational conference

T. Anan, T. Nakao, T. Okumura, P. Attri, N. Yamashita, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani, Y. Ishibashi, S. Tsuboyama, K. Hashimoto, K. Kuchitsu, H. Hashizume, K. Ishikawa, M. Hori

DPS2022 2022.11

Enhancing output power of polymer electrolytes DSSCs with V-shape low­concentrated light systems

2022.11

ダストプラズマの異常輸送実験とその量子コンピューティング

白谷正治

第38回 九州･山口プラズマ研究会 2022.11

A Plasma Enhanced CVD Technology for Solving Issues on Sidewall Deposition in Trenches and HolesInternational conference

M. Shiratani

iMPACT2022 2022.10

Study of electric field measurements in Ar plasmas using an optically trapped fine particleInternational conference

T.Sato, K. Kamataki, K. Tomita, P. Yiming, D. Yamashita, N.Yamashita, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

AAPPS-DPP 2022 2022.10

The role of post-annealing treatment on ZnO:Co structure and magnetic transition grown by sputtering depositionInternational conference

A. M. Nurut, N. Yamashita, K. Kamataki, K. Koga, N. Itagaki, M. Shiratani

ICIEE 2022 2022.10

Plasma irradiation-introduced RONS amount into plant seeds and their response analysisInternational conference

T. Okumura, T. Anan, P. Attri, Y. Tsukada, K. Kamataki, N. Yamashita, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani, Y. Ishibashi

ICRP-11/GCE2022 2022.10

Role of short-lived nitrogen species generated at low-pressure RF plasma on the germination and seedling growthInternational conference

K. Koga, P. Attri, T. Okumura, T. Anan, T. Nakao, K. Kamataki, N. Yamashita, N. Itagaki, M. Shiratani

ICRP-11/GCE2022 2022.10

Measurements of strength and fluctuation of 2D electric fields in plasmas using a fine particle trapped with laser tweezers(Invited)InvitedInternational conference

K. Kamataki, T. Sato, K. Tomita, P. Yimin, D. Yamashita, N. Yamashita, T. Okumura, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

ICRP-11/GCE2022 2022.10

Relationship between vibrational temperature and CO2 methanation with plasma catalysisInternational conference

S. Toko, T. Hasegawa, T. Okumura, K. Kamataki, K. Takenaka, K. Koga, M. Shiratani, Y. Setsuhara

ICRP-11/GCE2022 2022.10

Effects of amplitude modulation discharge on behavior of oxygen ions in Ar/O2 capacitively coupled plasma studied by particle-in-cell/Monte Carlo collision modelInternational conference

I. Nagao, A. Yamamoto, Y. Yamamoto, K. Kamataki, T. Okumura, N. Yamashita, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

ICRP-11/GCE2022 2022.10

Pressure dependence on spatio-temporal distribution of excitation rates of Ar 2p1 and Ne 2p1 in Ar and Ar/Ne capacitively coupled plasmasInternational conference

M. Otaka, T. Arima, J. Lai, K. Ikeda, K. Kamataki, N. Yamashita, T. Okumura, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

ICRP-11/GCE2022 2022.10

Reproducibility in plasma agricultureInternational conference

M. Shiratani, T. Anan, T. Nakao, T. Okumura, P. Attri, K. Koga

ICRP-11/GCE2022 2022.10

Effect of plasma irradiation on germination of lettuce seeds with fluctuating dormancyInternational conference

T. Anan, T. Nakao, T. Okumura, P. Attri, K. Kamataki, N. Yamashita, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

ICRP-11/GCE2022 2022.10

Plasma induced conversion of CO2 with water to useful compoundsInternational conference

P. Attri, T. Okumura, K. Koga, K. Kamataki, N. Itagaki, M. Shiratani, N. Takeuchi

ICRP-11/GCE2022 2022.10

Sputter epitaxy of Mg-doped ZnO films on sapphire substrates using inverted Stranski-Krastanov modeInternational conference

M. Shiratani, D. Takahashi, N. Yamashita, N. Itagaki

ICRP-11/GCE2022 2022.10

Process analysis of cracking aC: H/CNP/aC: H sandwich films under stress using nanoindentationInternational conference

S. Ono, T. Okumura, K. Kamataki, N. Yamashita, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

ICRP-11/GCE2022 2022.10

固相結晶化シード層上へのZnO:Al透明導電膜のスパッタリング成膜：固相結晶化温度の影響

沈志遠, 薮田久人, 山下尚人, 鎌滝晋礼, 奥村賢直, 古閑一憲, 白谷正治, 板垣奈穂

第83回応用物理学会秋季学術講演会 2022.9

休眠状態を考慮したレタス種子発芽へのプラズマ照射効果

奥村賢直, 阿南輝樹, アタリパンカジ, 山下大輔, 鎌滝晋礼, 山下尚人, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治, 石橋勇志

第83回応用物理学会秋季学術講演会 2022.9

モデル植物ゼニゴケの成長に対する低温プラズマ照射解析実験系の確立と初発反応の解析

坪山祥子, 奥村賢直, 古閑一憲, 白谷正治, 朽津 和幸

第83回応用物理学会秋季学術講演会 2022.9

大気圧空気プラズマを用いた肥料への窒素固定と圃場試験

中尾匠, 奥村賢直, パンカジアトリ, 山下大輔, 鎌滝晋礼, 山下尚人, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷 正治

第83回応用物理学会秋季学術講演会 2022.9

サファイア基板上の単結晶ZnO薄膜作製におけるバッファー層評価指標

山下尚人, 中村優太, 鎌滝晋礼, 奥村賢直, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治

第83回応用物理学会秋季学術講演会 2022.9

プラズマ誘起欠陥の発生と修復 ～水素終端Si表面に及ぼすArプラズマの効果～

布村正太, 坂田功, 古閑一憲, 白谷正治

第83回応用物理学会秋季学術講演会 2022.9

振幅変調放電法を用いたTEOSプラズマCVDへの効果

山本晃大, 長尾伊織, 山本祐馬, 大高真寛, 山下大輔, 鎌滝晋礼, 奥村賢直, 山下尚人, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治

第83回応用物理学会秋季学術講演会 2022.9

プラズマ触媒作用を用いたCO2メタネーションのためのゼロ次元シミュレーション

都甲将, 長谷川大樹, 奥村賢直, 鎌滝晋礼, 竹中弘祐, 古閑一憲, 白谷正治, 節原 裕一

第83回応用物理学会秋季学術講演会 2022.9

Role of plasma treatment on radish seeds affects germination, morphology, and biochemical responses

P. Attri, T. Okumura, K. Koga, K. Kamataki, N. Yamashita, Y. Tsukada, N. Itagaki, M. Shiratani

2022.9

光ピンセットによる捕捉微粒子を用いたArプラズマ中の電場強度分布及び電場揺動計測(2)

鎌滝晋礼, 佐藤斗真, 富田健太郎, P. Yiming, 山下大輔, 山下尚人, 奥村賢直, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治

第83回応用物理学会秋季学術講演会 2022.9

異なるMg組成を有する単結晶Zn­­1-xMgxO膜成長におけるZnONバッファー層の効果

矢高功太郎, 高橋大智, 山下尚人, 山下大輔, 奥村賢直, 鎌滝晋礼, 古閑一憲, 白谷正治, 板垣奈穂

第83回応用物理学会秋季学術講演会 2022.9

格子不整合サファイア基板上への単結晶ZnO膜のスパッタリング成膜: ZnONバッファー層の効果

三石遼, 矢高功太郎, 山下尚人, 奥村賢直, 鎌滝晋礼, 古閑一憲, 白谷正治, 板垣奈穂

第83回応用物理学会秋季学術講演会 2022.9

スパッタエピタキシー法による(ZnO)x(InN)1-x単結晶薄膜の室温成膜

成重椋太, 山下尚人, 鎌滝晋礼, 奥村賢直, 古閑一憲, 白谷正治, 板垣奈穂

第83回応用物理学会秋季学術講演会 2022.9

Impact of amplitude modulated discharge on suppression of nanoparticle growth in TEOS/O2/Ar capacitively coupled plasmaInternational conference

K. Kamataki, A. Yamamoto, I. Nagao, Y. Yamamoto, D. Yamashita, T. Okumura, N. Yamashita, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

IVC-22 2022.9

Eff ects of Modifi cation of Film Interface by Nanoparticles on Mechanical Properties of FilmsInternational conference

S. Ono, S. H. Hwang, T. Okumura, K. Koga, K. Kamataki, N. Yamashita, N. Itagaki, M. Shiratani

9th International Symposium on Control of Semiconductor Interfaces 2022.9

Effects of surface polarity of ZnO substrates on epitaxial growth of (ZnO)x(InN)1-x films fabricated at room temperatureInternational conference

R. Narishige, N. Yamashita, K. Kamataki, T. Okumura, K. Koga, M. Shiratani, N. Itagaki

9th International Symposium on Control of Semiconductor Interfaces 2022.9

Control of Crystal Structure and Magnetic Properties of ZnO: Co Films Grown by Magnetron Sputtering Using NitrogenInternational conference

A. M. Nurut, R. Narishige, N. Yamashita, K. Kamataki, T. Okumura, K. Koga, M. Shiratani, N. Itagaki

9th International Symposium on Control of Semiconductor Interfaces 2022.9

Fabrication of Low-Resistive Amorphous In2O3 :Sn Films at 600°C by Magnetron Sputtering Using NitrogenInternational conference

2022.9

Eff ects of Amplitude Modulated RF Discharge on Properties of SiO2 Films Deposited by TEOS/O2/Ar Plasma-Enhanced Chemical Vapor DepositionInternational conference

K. Kamataki, A. Yamamoto, I. Nagao, Y. Yamamoto, D. Yamashita, T. Okumura, N. Yamashita, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

9th International Symposium on Control of Semiconductor Interfaces 2022.9

Particle Fluxes to Seeds Irradiated from Scalable DBD PlasmaInternational conference

M. Shiratani, H. Tanaka, T. Anan, T. Nakao, Y. Tagawa, T. Okumura, P. Attri, K. Koga

2022.8

Magnetic properties of Co-doped ZnO films fabricated by sputtering using mediated crystallization.International conference

A. M. Nurut, N. Yamashita, K. Kamataki, T. Okumura, K. Koga, N. Itagaki, M. Shiratani

IUMRS-ICYRAM 2022 2022.8

Stability of a quasi-solid DSSC under low-concentrated light soakingInternational conference

F. L. Chawarambwa, T. E. Putri, A. Pankaj, M. Shiratani

IUMRS-ICYRAM 2022 2022.8

Effect of reactive nitrogen species mainly nitric oxide on the germination of radish seedsInternational conference

A. Pankaj, T. Okumura, F. L. Chawarambwa, T. E. Putri, N. Takeuti, K. Koga, K. Ishikawa, K. Kamataki, M. Shiratani

IUMRS-ICYRAM 2022 2022.8

Thermoplastic Polymer Electrolytes for DSSCs Performance Under V-Shape Low-Concentrated LightInternational conference

T. E. Putri, F. L. Chawarambwa, A. Pankaj, K. Kamataki, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

IUMRS-ICYRAM 2022 2022.8

Spatio-temporal structures of plasma density in lower driving rf frequency plasmas studied by particle-in-cell/Monte Carlo collision methodInternational conference

T. Arima, M.Otaka, K. Kamataki, D. Yamashita, N. Yamashita, T. Okumura, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

IUMRS-ICYRAM 2022 2022.8

Time resolved optical emission spectroscopy in Ar/Ne capacitively coupled radio frequency plasmaInternational conference

M. Otaka, D. Nagamatsu1, T. Arima, K. Kamataki, D. Yamashita, N. Yamashita, T. Okumura, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

IUMRS-ICYRAM 2022 2022.8

Ion energy and angular distribution functions in amplitude modulated capacitively coupled Ar discharge plasma obtained using particle-in-cell Monte Carlo collision model simulationInternational conference

I. Nagao, A. Yamamoto, K. Kamataki, D. Yamashita, T. Okumura, N. Yamashita, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

IUMRS-ICYRAM 2022 2022.8

Increase of Blocking Temperature in Co-doped ZnO by Using NitrogenMediated CrystallizationInternational conference

N. Yamashita, A. Agusutrisno, K. Kamataki, T. Okumura, K. Koga, M. Shiratani, N. Itagaki

ICMFS-2022 2022.7

TEOSプラズマSiO2成膜に及ぼす振幅変調放電の効果

山本晃大、長尾伊織、山本祐馬、大高真寛、山下大輔、鎌滝晋礼、奥村賢直、山下尚人、板垣奈穂、古閑一憲、白谷正治

2022年度日本表面真空学会　九州支部学術講演会 2022.6

大気圧空気プラズマで生成した硝酸態窒素の水表面への輸送評価

中尾匠、奥村賢直、P. Attri、古閑一憲、山下大輔、鎌滝晋礼、山下尚人、板垣奈穂、白谷正治

2022年度日本表面真空学会　九州支部学術講演会 2022.6

逆Stranski-Krastanovモードによる単結晶ZnO薄膜のスパッタリング成膜:窒素流量の影響

三石遼, 山下尚人, 矢高功太郎, 奥村賢直, 鎌滝晋礼, 古閑一憲, 白谷正治, 板垣奈穂

2022年度日本表面真空学会　九州支部学術講演会 2022.6

Development of Measurement of Two-Dimensional Distribution of Strength of Electrical Field with High Spatial Resolution Using Optical Trapped Particle in PlasmaInternational conference

K. Kamataki, S. Okunaga,T. Sato,K. Tomita, P. Yimin, D. Yamashita, N. Yamashita, T. Okumura, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

MRS spring meeting 2022 2022.5

Key parameters for single crystalline ZnO film growth by magnetron sputtering via inverted Stranski-Krastanov modeInternational conference

N. Yamashita, Y. Nakamura, K. Kamataki, T. Okumura, K. Koga, M. Shiratani, N. Itagaki

MRS spring meeting 2022 2022.5

Growth of Nanoparticles in TEOS rf Plasma with Amplitude ModulationInternational conference

A. Yamamoto, K. Abe, I. Nagao, M. Otaka, D. Yamashita, K. Kamataki, T. Okumura, N. Itagaki, K. Koga, M.Shiratani

MRS spring meeting 2022 2022.5

Epitaxial Growth of Atomically Flat Single-crystalline (ZnO) (InN) Films on O-polar ZnO Substrates by Magnetron SputteringInternational conference

R. Narishige, N. Yamashita, K. Kamataki, T. Okumura, K. Koga, M. Shiratani, N.Itagaki

MRS spring meeting 2022 2022.5

Quantitative Evaluation through LC-QqQ MS/MS for RONS Induced into Dry Seeds by Non-Thermal Plasma IrradiationInternational conference

T. Okumura , K. Koga , P. Attri , K. Kamataki , N. Yamashita , N. Itagaki, M. Shiratani

MRS spring meeting 2022 2022.5

Structural Control of Hydrogenated Amorphous Carbon Films by Substrate Position and Gas Pressure in Plasma Chemical Vapor DepositionInternational conference

S. Ono, S. H. Hwang, D. Yoshikawa, T. Okumura, K. Kamataki, N. Yamashita, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani, J. S. Oh, S. Takabayashi, T. Nakatani

MRS spring meeting 2022 2022.5

Amplitude Modulation Frequency Dependence of Ion Energy Distribution in Capacitively Coupled Discharge Plasma Studied by Particle-in-Cell/Monte Carlo Collision MethodInternational conference

I. Nagao, A. Yamamoto, K. Kamataki, D. Yamashita, N. Yamashita, T. Okumura, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

MRS spring meeting 2022 2022.5

Position Fluctuation of a Fine Particle Trapped with Laser Tweezers in Ar PlasmaInternational conference

T. Sato, S. Okunaga, K. Kamataki, K. Tomita, P. Yiming, D. Yamashita, T. Okumura, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

MRS spring meeting 2022 2022.5

Effects of rf Frequency on Plasma Density in Capacitively Coupled Plasmas at Low Pressure Studied by Particle-in-Cell/Monte Carlo Collision MethodInternational conference

T. Arima , T. Yang, K. Kamataki, D. Yamashita, N. Yamashita, T. Okumura, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

MRS spring meeting 2022 2022.5

Time Resolved Optical Emission Spectroscopy in Ar and Ar/Ne Capacitively Coupled Radio Frequency PlasmaInternational conference

M. Otaka, D. Nagamatsu, T. Arima, K. Kamataki, D. Yamashita, N. yamashita, T. Okumura, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

MRS spring meeting 2022 2022.5

Stress Relaxation of Hydrogenated Amorphous Carbon Films by Incorporating Carbon Nanoparticles Using Plasma Chemical Vapor DepositionInternational conference

K. Koga, S. H. Hwang, S. Ono, D. Yoshikawa, T. Okumura, N. Yamashita, K. Kamataki, N. Itagaki, M. Shiratani, J-S. Oh, S. Takabayashi, T. Nakatani

MRS spring meeting 2022 2022.5

Epitaxial Growth of Single-Crystalline ZnO Films on Sapphire Substrates via Inverted Stranski-Krastanov Mode by Low-Power Magnetron SputteringInternational conference

R. Mitsuishi, N. Yamashita, D.Takahashi, T. Okumura, K. Kamataki, K. Koga, M. Shiratani, N. Itagaki

MRS spring meeting 2022 2022.5

3次元デバイス製造のためのプラズマプロセスとレーザプロセス

白谷正治

半導体3D実装材料プロセス・インフォマティクス研究会第一回研究会 2022.3

任意電圧波形励起PECVDによるa-C:H成膜における希ガスの効果の検証

永松 大樹, 有馬 聡明, 大高 真寛, 山下 大輔, 鎌滝 晋礼, 古閑 一憲, 白谷 正治, 大友 洋, 進藤 崇央, 田中 諭志, 松戸 龍夫

第69回応用物理学会春季学術講演会 2022.3

光ピンセットによる捕捉微粒子を用いたArプラズマ中の電場強度分布及び電場揺動計測

鎌滝晋礼, 奥永冴京, 佐藤斗真, 富田健太郎, P. Yiming, 山下大輔, 山下尚人,奥村賢直, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治

第69回応用物理学会春季学術講演会 2022.3

プラズマ CVD 法を用いた a-C:H 薄膜製膜特性に対するガス圧力・基板位置の効果

小野晋次郎, 吉川大智, 黄成和, 奥村賢直, 鎌滝晋礼, 山下尚人, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治, 呉準席, 鷹林将, 中谷達行

第69回応用物理学会春季学術講演会 2022.3

CNP 層を挿入した a-C:H 膜の応力低減に対する CNP 被覆率の効果

吉川大智, 小野晋次郎, 黄成和, 奥村賢直, 鎌滝晋礼, 山下尚人, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治, 鷹林将，呉準席, 中谷達行

第69回応用物理学会春季学術講演会 2022.3

プラズマ触媒作用を用いたCO2メタネーションにおける振動回転励起CO分子の役割

都甲 将, 出口 雅志, 長谷川 大樹, 奥村 賢直, 鎌滝 晋礼, 竹中 弘祐, 古閑 一憲, 白谷 正治, 節原 裕一

第69回応用物理学会春季学術講演会 2022.3

植物へのプラズマ照射効果解明に向けたゼニゴケ実験系の確立

古閑一憲, 坪山祥子，田川雄大, 中尾匠，田中颯，阿南輝樹，奥村賢直 ，P. Attri，鎌滝晋礼，山下尚人 ，板垣奈穂 ，白谷正治 ，朽津和幸

第69回応用物理学会春季学術講演会 2022.3

任意電圧波形励起 PECVD による a-C:H 成膜における希ガスの効果の検証

永松大樹, 有馬聡明, 大高真寛, 山下大輔, 鎌滝晋礼, 古閑一憲, 白谷正治, 大友洋, 進藤崇央, 田中諭志, 松土龍夫

第69回応用物理学会春季学術講演会 2022.3

パルス放電プラズマを用いたCO2メタン化に対する放電休止時間の効果

長谷川大樹，出口 雅史，山下大輔，都甲将，鎌滝晋礼，古閑一憲, 白谷正治

第69回応用物理学会春季学術講演会 2022.3

調湿レタス種子のラジカル量に与えるプラズマ照射の効果

奥村賢直，阿南輝樹，パンカジアタリ, 古閑一憲, 鎌滝晋礼，山下尚人, 板垣奈穂, 白谷正治, 石橋勇

第69回応用物理学会春季学術講演会 2022.3

インジウム・スズ酸化物ナノ粒子の皮下および気管内投与による生体影響の比較

田中昭代, 松村渚, 田中佑樹, 小椋康光, 古閑一憲, 白谷正治, 長野嘉介

第92回日本衛生学会学術総会 2022.3

プラズマCVDを用いて堆積した薄膜のナノ構造化による機械的特性制御

古閑一憲，黄成和，小野晋次郎，吉川大智, 奥村賢直，鎌滝晋礼，山下尚人，板垣奈穂，白谷正治

日本物理学会 第77回年次大会（2022年） 2022.3

Deposition of Carbon Nanoparticles of 5 nm in Size on Positively Biased Substrates using Multi-Hollow Discharge Plasma CVD MethodInternational conference

K. Koga, S. H. Hwang, S. Ono, D. Yoshikawa, T. Okumura, K. Kamataki, N. Yamashita, N. Itagaki, M. Shiratani

ISPlasma2022/IC-PLANTS2022 2022.3

Effects of Concentration of Plasma Activated Lactate on Germination of Arabidopsis thaliana SeedsInternational conference

H. Tanaka, T. Okumura, P. Attri, T. Anan, K. Kamataki, N. Itagaki, M. Shiratani, Y. Ishibashi, M. Nakano, K. Namiki, S. Tsuboyama, K. Hashimoto, K. Kuchitsu, H. Hashizume, K. Ishikawa, M. Hori, K. Koga

ISPlasma2022/IC-PLANTS2022 2022.3

Development of DUV laser material processing for semiconductor deviceInternational conference

H. Ikenoue, D. Nakamura, K. Katayama, A. Mizutani, H. Mizoguchi, M. Shiratani

Laser Applications in Microelectronic and Optoelectronic Manufacturing (LAMOM) XXVII 2022.2

Progress of DUV・EUV Light Source and its Extension to Leading Edge Semiconductor Manufacturing

第8回グローバルプラズマフォーラム「半導体プロセス技術最前線」 2022.2

プラズマ触媒を用いたCO2メタン化のためのプラズマシミュレーシンョン

都甲将，出口雅志, 長谷川大樹, 奥村賢直, 鎌滝晋礼, 竹中弘祐, 古閑一憲，白谷正治, 節原裕一

2022.1

プラズマ照射肥料を用いて栽培した植物の成長解析

奥村 賢直, アタリバンカジ，中尾匠， 田中颯, 鎌滝晋礼, 山下尚人, 古閑ー憲, 板垣奈穂, 白谷正治, 竹内希

2022.1